準(zhǔn)分子激光光束內(nèi)的點(diǎn)到點(diǎn)的能量分布變動(dòng)超過±l0%.這個(gè)數(shù)值對(duì)大面積高精度的燒蝕加工應(yīng)用而言是偏大了。從原理上將，均束光學(xué)系統(tǒng)將光束切割成多片，并相互混合，zui終完成完整的均束分布。
    準(zhǔn)分子激光雕刻切割機(jī)激光光束的均勻方案有許多種，包括棱鏡法、萬花筒法、波導(dǎo)腔法、二元光學(xué)法、非球面透鏡法、全息光柵濾波器法、反射鏡折疊光束法、光幅倒置疊加法、復(fù)眼、光纖、多孔膜。
    棱鏡法是用一菱形對(duì)稱棱鏡將原光束沿短軸方向中心對(duì)稱的切割成兩束，并在棱鏡后一位置重疊。激光雕刻切割機(jī)方法的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但缺點(diǎn)是僅在輸入光束嚴(yán)格對(duì)稱才令人滿意，并且獲得均勻光束截面的位置極嚴(yán)格地對(duì)稱于光楔的角度。

    萬花筒法是將光束入射到一萬花筒式的光學(xué)反射腔中。它的優(yōu)點(diǎn)：制作、裝調(diào)簡(jiǎn)易，價(jià)格低廉。但缺點(diǎn)是光能損失較大。當(dāng)光強(qiáng)分布近似高斯分布的入射光以zui大入射角‰進(jìn)入光波導(dǎo)后，只有和透鏡光軸平行的或和光軸成一較小夾角的光線不經(jīng)過反射直接通過波導(dǎo)管，其余入射光的光線將在波導(dǎo)管內(nèi)產(chǎn)生反射到達(dá)輸出面的不同點(diǎn)上。
    波導(dǎo)腔法是將準(zhǔn)分子激光入射到一波導(dǎo)反射腔鏡中，利用類似光纖傳導(dǎo)的原理混合激光模式，實(shí)現(xiàn)對(duì)原光束的均束。激光雕刻切割機(jī)優(yōu)點(diǎn)是光能損失低，但缺點(diǎn)是均束效果不太理想。

    二元光學(xué)法是制作二元光學(xué)的光變換器件，利用波動(dòng)光學(xué)的原理，對(duì)準(zhǔn)分子激光光束進(jìn)行均束變換。它的缺點(diǎn)是制作過程復(fù)雜。
    非球面透鏡法是根據(jù)準(zhǔn)分子激光光束分布來設(shè)計(jì)制作非球面透鏡，缺點(diǎn)是光學(xué)設(shè)計(jì)、加工不容易。
    全息光柵濾波器的缺點(diǎn)是它采用有機(jī)物基材，限制其在高功率紫外激光切割機(jī)的應(yīng)用。
    光幅倒置疊加法的缺點(diǎn)：光效率低（60%）.方法原理由四片柱面鏡圍成一個(gè)中空的方形結(jié)構(gòu)，每片柱面鏡安裝在一個(gè)精細(xì)調(diào)整架上，通過調(diào)節(jié)可以控制中空部分的尺寸和形狀，激光切割機(jī)中激光照射在裝置上，中空部分激光直接透過，照射在邊緣柱面透鏡上的光將補(bǔ)償?shù)街虚g光的弱光強(qiáng)部分，通過計(jì)算柱面鏡的參數(shù)和適當(dāng)調(diào)節(jié)調(diào)整旋鈕，就能得到均光效果。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是光束透過率較高，均光效果較好，但設(shè)計(jì)人員要求較高，設(shè)計(jì)人員需要計(jì)算鏡片參數(shù)及設(shè)計(jì)高精度的微調(diào)機(jī)構(gòu)。

    反射鏡折疊光束法，工作原理當(dāng)一束光強(qiáng)分布近似高斯函數(shù)的準(zhǔn)平行激光束經(jīng)過透鏡Li聚焦到反射鏡Mi上，經(jīng)過一次反射后，其能量分布將按照?qǐng)D所示發(fā)生光束方向的改變和能量疊加現(xiàn)象，同樣經(jīng)過透鏡L2和反射鏡M2后，激光切割機(jī)光束將再一次疊加。這樣經(jīng)過多次的光束疊加后，其初始的高斯光束能量分布將被均勻化。