激光切割機刻蝕率對入射能量的依賴關(guān)系是人們研究zui多的問題。激光切割機刻蝕率隨著激光切割機中激光入射能量的變化曲線稱為刻蝕率曲線。在刻蝕率曲線中，刻蝕閾值Fth是一個重要的參數(shù)，就是發(fā)生明顯的刻蝕需要的單脈沖入射能量。在激光切割機入射能量未達(dá)到刻蝕閾值的時候，也并不是不發(fā)生刻蝕。激光切割機刻蝕過程在刻蝕閾值處爆炸性開始，曲線陡峭上升。在此之前較低的入射能量下，也發(fā)生了刻蝕，只是刻蝕率很小。刻蝕率和刻蝕閾值嚴(yán)重依賴于材料的物理化學(xué)性質(zhì)和光波長。對于同一波長，不同的材料或者化學(xué)成分和制作工藝稍有不同，刻蝕率和刻蝕閾值也不相同。人們普遍認(rèn)為PMMA的248nm準(zhǔn)分子激光的刻蝕閾值為0.65J/cm2左右。改變激光切割機中激光入射能量，從0～14.7J/cm2,脈沖個數(shù)為10，刻蝕結(jié)構(gòu)為lOOum的圓孔，用SIS-2000型三維形貌測試儀測量了刻蝕深度，得到的刻蝕率離散點。

    從中可知，248nm的準(zhǔn)分子激光切割機中激光器刻蝕PMMA的刻蝕閾值在0.65J/cm2左右。在激光切割機中激光入射能量達(dá)到刻蝕閾值0.65J/cm2之前，不發(fā)生明顯刻蝕，隨后刻蝕率隨著入射能量的增加而急劇增大并達(dá)到飽和，在達(dá)到zui大3.3um之后，隨著入射能量的增加反而減小。人們對準(zhǔn)分子激光切割機中激光刻蝕聚合物材料的研究，一般在刻蝕閾值附近積累了大量的實驗數(shù)據(jù)并建立了大量的物理化學(xué)模型。研究刻蝕閾值之前和附近的刻蝕行為，這對研究材料的刻蝕特點、建立理化模型是非常有益的。但是從準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工的角度，只有入射激光能量遠(yuǎn)大于刻蝕閾值時，高效率、精確地控制刻蝕深度才有可能。對中入射能量大于1.5J/cm2的PMMA的刻蝕率做了詳細(xì)的研究。

激光切割機在加工過程中，產(chǎn)生的激光切割方式，在很多的商家眼里成為刻蝕，因為激光切割機工作的原理就是在材料的表面形成一條切割的縫隙，當(dāng)切割的參數(shù)調(diào)試部一樣，也可以形成一條刻蝕的線路，因此激光切割機的加工原理可以叫做為激光刻蝕，然而刻蝕的工作原理是怎么樣的，下面光博士帶各位分析下。

   在激光切割機的入射能量為14.7J/cm2的條件下，測量了不同的脈沖數(shù)下的刻蝕深度，該直線的斜率就是刻蝕率x=h/n.可以看到激光切割機刻蝕深度和脈沖基本是嚴(yán)格的比例關(guān)系，這對于嚴(yán)格控制刻蝕深度是非常有利的。在幾十個脈沖內(nèi)，沒有發(fā)現(xiàn)刻蝕率隨著脈沖數(shù)的增加而升高的PPR效應(yīng)，這和上面的理論分析是*的。

   激光切割機刻蝕脈沖數(shù)的增加對刻蝕率的影響并不明顯。但是，隨著激光切割機刻蝕深度的增加，被刻蝕材料表面與像面間的距離會逐漸增大并導(dǎo)致了該表面上入射激光能量密度的降低，因此會降低刻蝕率。所以，刻蝕深度不能*由刻蝕率與脈沖個數(shù)的乘積得到。根據(jù)激光切割機測試結(jié)果，計算出不同脈沖數(shù)下對應(yīng)的刻蝕率，變化趨勢線。由中可知，隨著脈沖數(shù)的增加刻蝕率明顯下降，和上面的理論分析相*。