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北京銳潔機器人科技有限公司
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3個新功能:采用閉環位置控制電機配備值編碼器編碼器不需要更換電池
對閉壞控制方式機械手臂加上疑似多軸規格。
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺,由于布局設計運用自如,降低成本。
*加上揭載了搬運介紹動畫疑似多軸規格
EFEM,PE-CVD設備,AOI設備
被搬運物 | 2, 3 寸, 100~300 mm 晶圓 (其他可根據特殊晶圓的形狀,材質為客戶提供靈活的定制設計) | ||
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手臂 | 旋轉 | 升降 | |
可動范圍* (手臂第3關節中心基準) | 340 mm | 340度 | 300 mm |
搬運速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
搬運速度 (速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
精度* | 10.0µm以下 | 0.00515度 | 2.0µm |
重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
廠務 | 電源:DC24V±10% 10A 真空:優于-53 kPa |
*測試機型:SCR3160CSN-300-CM,使用JEL標準真空吸附式手指
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