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北京銳潔機器人科技有限公司
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超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運
產品,穩定性好,性價比高
EFEM,PE-CVD設備,AOI設備
被搬運物 | ?300 mm晶圓 | ||
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手臂 | 旋轉 | 升降 | |
可動范圍* (手臂第3關節中心基準) | 340 mm | 340度 | 300 mm |
搬運速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
搬運速度 (速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
搬運高度* | 536mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度) | ||
重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
廠務 | 電源:DC24V±10% 15A 真空:優于-53 kPa |
*測試機型:SCR3160CS-300-PM,使用JEL標準真空吸附式手指
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