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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司
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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)GTFR5280
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2024-12-19 16:47:51瀏覽次數(shù)：3次
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用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂。單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，適用于EFEM的晶片搬運(yùn)。
與我司以往產(chǎn)品的GTCR相比，減少動(dòng)作禁止區(qū)域、速度限制的影響，提高傳片效率。
（比本公司以往產(chǎn)品提高60%）
| 機(jī)械手臂型號(hào) | GTFR5280-320-DM | |
|---|---|---|
| 被搬運(yùn)物 | ～300mm晶圓 | |
| 晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | |
| 機(jī)械結(jié)構(gòu)格式 | 水平多關(guān)節(jié) | |
| 控制軸 | 5軸 | |
| 電機(jī)類型 | 全軸采用AC伺服電機(jī), 無需電池 | |
| 可動(dòng)范圍 | 被搬送物體中心到達(dá)距離 | 升降(Z軸) |
| 893mm | 320mm | 搬運(yùn)速度(平均) | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
| 900mm/sec(圓筒動(dòng)作時(shí)) | 320mm/sec | 搬運(yùn)速度() | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
| 1,500mm/sec(圓筒動(dòng)作時(shí)) | 540mm/sec | |
| 重復(fù)性精度 | ±0.05 mm以內(nèi) | |
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 1 | |
| 廠務(wù) | 電源：単相AC200V±10% 2kVA 真空：優(yōu)于-75kPa(使用真空吸附式手指) | |
| 質(zhì)量 | 機(jī)械手臂體 大約80kg | |
上述規(guī)格為本司使用標(biāo)準(zhǔn)真空吸附方式手指情況下的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械手臂規(guī)格的一個(gè)示例
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