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上海精切半導體設備有限公司
處理生產挑戰鑒于LED細分市場不斷增長,和降低單位生產成本(CoO)的需求,ADT推出了7900Duo型雙主軸系統,在不增加生產占地面積的基礎上,將生產率提高了一倍
處理生產挑戰
鑒于LED細分市場不斷增長,和降低單位生產成本(CoO)的需求,ADT推出了7900 Duo型雙主軸系統,在不增加生產占地面積的基礎上,將生產率提高了一倍。
7900 Duo系統為需要長切割周期的應用(如圖像傳感器和切割設備)提供了的解決方案。
除了自動視覺和易于使用的新用戶界面 (NUI) 之外,ADT還提供了一項的功能,對破損晶圓進行處理和編程。
7900系列優點:
? 兩個對向主軸,可同時切割
? 低振動平臺
? 快速自動對齊和切割定位,提高產量
? 占地面積小,降低擁有成本
? 自動刀痕檢測,提高產量
? 自動Y偏移校正,確保精度
? 膠帶表面檢測,確保一致的切割質量
? 觸摸屏用戶界面
系統規格:
工件尺寸:
7900 Duo 8" x 8"
7920 Duo 10" x 10"
7930 Duo 12" x 10" 或 12"直徑。
79LD 11" x 11"
刀片尺寸: 2"- 3"
主軸:兩個相對主軸,60Krpm,2.5 kW,額定扭矩0.25 Nm
Y1/Y2 軸
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
控制:線性編碼器
分辨率:0.1 µm
累積精度:1.5 µm
分度精度:1.0 µm
切割范圍: 7900 Duo 8"
7920 Duo 10"
7930 Duo 12"
X 軸
驅動裝置:滾珠軸承絲桿
空氣軸承滑塊
傳送速度:高達 600 mm/sec
切割范圍:410mm
Z1/Z2軸
驅動裝置:滾珠軸承絲桿
分辨率:0.2 µm
精度:2.0 µm
重復精度:1.0 µm
行程:40mm
? 軸
驅動:閉環、直接驅動
精度:4 arc-sec
重復精度:4 arc-sec
行程:350度
視覺系統
數碼攝像砂,Fire wire鏈接
高亮LED照明(直射和斜射)
設施
電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相
氣體消耗:260 L/min @ 5.5 bar
切割水(各主軸):3 L/min
主軸水(各主軸): 1.1 l/min
尺寸 (WxDxH):
875 x 975 x 1450 mm
875×975×1450 mm
重量:900 kg
特點:
自動對齊
自動刀痕檢測
自動Y偏移校正
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