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北京艾姆希半導體科技有限公司
CPI系列純化學拋光設備由強防腐蝕材料構成,適用于腐蝕拋光溶劑,如溴甲醇,過氧化氫或酸腐蝕劑等。實現無劃痕、無橘皮效應的高質量表面拋光。
項目 | 參數 |
電源: | 220-240v 10A 110v 10A 50-60HZ |
環境溫度: | 20℃±5℃ |
環境濕度: | < 80%=""> |
晶圓尺寸: | ≤112mm |
工作盤直徑: | 355mm/406mm |
盤轉速: | 0-120rpm |
定時時間: | 0-10小時 |
進料通道: | ≥2 |
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塑料機械網 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ?
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