蜂窩結構隔振平臺臺板或超導磁隔振平臺臺板，臺板強度高，穩定可靠；隔振器采用擺桿的結構創新設計，該結構的水平固有頻率相對于常規氣浮平臺較低，該支撐在水平方向有很好的隔振效果和承載能力。該項結構創新已申報了國家。關鍵氣動執行元件均采用德國FEST0產品，空氣壓縮機氣源、噪聲低。
? 阻尼結構工作臺板，可消除表面共振
? 臺板可選
? 密封孔
? 自動調平
? 利用單擺原理得到更低的水平方向固有頻率
標準尺寸：
| 臺板規格 | 臺板尺寸（mm） | 固有頻率 | 高度（m） | 載荷（KG） |
| 009006 | 900×600 | 垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz | 0.8 | ＜135 |
| 010008 | 1000×800 | 垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz | 0.8 | ＜200 |
| 012009 | 1200×900 | 垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz | 0.8 | ＜270 |
| 015010 | 1500×1000 | 垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz | 0.8 | ＜375 |
| 018010 | 1800×1000 | 垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜450 |
| 020010 | 2000×1000 | 垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜500 |
| 012012 | 1200×1200 | 垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz | 0.8 | ＜360 |
| 015012 | 1500×1200 | 垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz | 0.8 | ＜450 |
| 018012 | 1800×1200 | 垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜540 |
| 020012 | 2000×1200 | 垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜600 |
| 024012 | 2400×1200 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜720 |
| 030012 | 3000×1200 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜900 |
| 035012 | 3500×1200 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1050 |
| 040012 | 4000×1200 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1200 |
| 050012 | 5000×1200 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1500 |
| 060012 | 6000×1200 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜2000 |
| 015015 | 1500×1500 | 垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜560 |
| 018015 | 1800×1500 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜675 |
| 020015 | 2000×1500 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜750 |
| 024015 | 2400×1500 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜900 |
| 030015 | 3000×1500 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1125 |
| 035015 | 3500×1500 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1300 |
| 040015 | 4000×1500 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1500 |
| 050015 | 5000×1500 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1875 |
| 060015 | 6000×1500 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜2250 |
| 024018 | 2400×1800 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1080 |
| 030018 | 3000×1800 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1350 |
| 035018 | 3500×1800 | 垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1575 |
| 040018 | 4000×1800 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1800 |
| 050018 | 5000×1800 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜2250 |
| 060018 | 6000×1800 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜2700 |
| 030020 | 3000×2000 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1500 |
| 035020 | 3500×2000 | 垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜1750 |
| 040020 | 4000×2000 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜2000 |
| 050020 | 5000×2000 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜2500 |
| 060020 | 6000×2000 | 垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz | 0.8 | ＜3000 |
