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精密隔振光學(xué)平臺(tái)-光學(xué)平臺(tái)-氣浮光學(xué)平臺(tái) h-TDI

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

精密隔振光學(xué)平臺(tái)-光學(xué)平臺(tái)-氣浮光學(xué)平臺(tái) h-TDI系列是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個(gè)自由度的振動(dòng)，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述：

精密隔振光學(xué)平臺(tái)–光學(xué)平臺(tái)–氣浮光學(xué)平臺(tái) h-TDI 系列是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列精密隔振光學(xué)平臺(tái)改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個(gè)自由度的振動(dòng)，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。系列是日本HERZ公司研發(fā)精密隔振光學(xué)平臺(tái)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個(gè)自由度的振動(dòng)，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。

精密隔振光學(xué)平臺(tái)-光學(xué)平臺(tái)-氣浮光學(xué)平臺(tái) h-TDI

Herz 光學(xué)平臺(tái) 工作原理：

安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響，的解決方案則是使用光學(xué)平臺(tái)-精密減振臺(tái)-電鏡防振臺(tái)（減振臺(tái)），以便營(yíng)造該設(shè)備的條件。

被動(dòng)隔振臺(tái)以其的柔和運(yùn)動(dòng)，易于移動(dòng)的形狀和適當(dāng)?shù)闹亓縼?lái)吸收傳入的振動(dòng)，并消耗振動(dòng)能量進(jìn)行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧之類的柔軟材料以及可以輕柔移動(dòng)的零件是被動(dòng)隔振臺(tái)的重要元素。被動(dòng)隔振臺(tái)可以通過(guò)改變彈簧強(qiáng)度或增加彈簧數(shù)量來(lái)支撐數(shù)十噸的設(shè)備。

相對(duì)于防振支撐件（彈簧上）的總重量M，空氣彈簧式隔振臺(tái)旨在使靜載荷下“彈簧壓力受壓面積S"，“彈簧內(nèi)部壓力P"和“彈簧數(shù)量N（支撐件的數(shù)量）"相乘的總數(shù)值保持平衡。當(dāng)發(fā)生動(dòng)態(tài)負(fù)載情況（由于M重心的移動(dòng)而導(dǎo)致的不平衡狀態(tài)）時(shí)，可變負(fù)載分量（ΔM）由機(jī)械閥自動(dòng)校正，或者由封閉閥手動(dòng)校正以校正內(nèi)部壓力?？諝鈴椈墒礁粽衽_(tái)使用彈簧材料的粘性阻力和封閉壓力的空氣（氣體）阻力作為損失系數(shù)，為了改善隔振效果，空氣彈簧內(nèi)部容積（彈簧腔）與輔助氣罐內(nèi)部體積（阻尼室）之間通過(guò)節(jié)流孔（節(jié)流閥）彼此連接，并且通過(guò)節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼。該輔助氣罐是調(diào)節(jié)自然頻率的主要因素之一。這種控制方法的優(yōu)點(diǎn)是可以通過(guò)低成本的組件配置獲得的效果，例如通過(guò)機(jī)械閥進(jìn)行壓力操作（壓力IN / OUT / EXH）以及通過(guò)節(jié)流孔或速度控制器進(jìn)行流速/流量調(diào)節(jié)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

采用高阻尼空氣彈簧
隔振性能突出
高剛度和高硬度
使用簡(jiǎn)單
性價(jià)比高

氣浮光學(xué)平臺(tái)應(yīng)用范圍：

光學(xué)顯微鏡
干涉儀
輪廓儀
原子力顯微鏡
微量天平
材料測(cè)試

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)：h-TDI ※可選h-TDIS
減振方式：垂直方向-HERZ減振空氣彈簧，水平方向-Herz高性能水平振動(dòng)隔離系統(tǒng)
空氣彈簧數(shù)：4-6
阻尼方式：垂直方向通過(guò)節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼，水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼
固有頻率：垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等重量時(shí)）
調(diào)平方式：帶有3個(gè)機(jī)械式自動(dòng)調(diào)平傳感器
供氣方式：氣源分開供氣
所需氣壓：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可選手動(dòng)供氣
工作臺(tái)材質(zhì)：頂板-磁化不銹鋼板5t ,底板-熱軋低碳鋼板 4.5t ※可選消磁不銹鋼板
蜂窩板材質(zhì)：鋁/鋼制蜂窩板 ※可選消磁不銹鋼蜂窩板
表面處理：攻絲M-6?25mm矩陣標(biāo)準(zhǔn)加工（可選）表面未涂漆（※帶黑色涂料）
承重力：150-1,000Kg（取決于具體型號(hào)）
整體重量：197-3,400 Kg（取決于具體型號(hào)和面板材質(zhì)）
外形尺寸：取決于具體型號(hào)(107LA-6015LA)

升級(jí)選項(xiàng)：

高阻尼框架
面板選項(xiàng)：根據(jù)需求可選高阻尼蜂窩板，石板和鑄鐵板

減振效果-Herz 光學(xué)平臺(tái)：

h-TDI系列電鏡防振臺(tái)可有效降低垂直方向和水平方向上的振動(dòng)情況，搭配高阻尼框架，可將外力沖擊導(dǎo)致的位移最小化。

光學(xué)平臺(tái)-精密減振臺(tái)-電鏡防振臺(tái) h-TDI的減振效果圖

標(biāo)簽:Herz傳感器光學(xué)平臺(tái)減振臺(tái)氣浮光學(xué)平臺(tái)電鏡防振臺(tái)精密減振臺(tái)被動(dòng)隔振臺(tái)防振臺(tái)隔振隔振臺(tái)

關(guān)鍵詞：光學(xué)顯微鏡輪廓儀橡膠節(jié)流閥控制器

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