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天津納微機器人科技有限公司
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典型應用：半導體、表面檢測、光學探針、AFM/SPM/SNOM、高密度存儲
典型應用：半導體、表面檢測、光學探針、AFM/SPM/SNOM、高密度存儲。
納米位移系統的應用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學設備、半導體設備到各種行業。納米位移系統能夠產生和測量優于納米（nm）的位移，整個系統包含3部分：納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機械裝置，內部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。微納機器人設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內置精密傳感器，閉環控制時，我們的傳感器技術在保證線性度的前提下，可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環控制時，納米位移臺內部的傳感器為控制器提供位移數據。控制器周期性的處理位移數據并修正輸出電壓信號，從而使位移數據與指令數據相同。
我們提供簡單易用的軟件。納米位移系統通常作為大型設備的一個部件，因而納米位移系統與其他硬件良好配合是相當重要的。對外通信方式有多種，常用的方式是通過BNC模擬信號（-10V~10V）控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數字IO實現與控制器的通信。控制器內部軟件實現了基于PID算法、陷波濾波器的閉環控制，內部集成了正弦波、方波和三角波的波形發生器。
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