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蘇州德龍激光股份有限公司


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碳化硅晶圓激光切割設備

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地蘇州市

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更新時間：2024-11-25 16:58:08瀏覽次數：17次

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經營模式：其他

商鋪產品：29條

所在地區：江蘇蘇州市

產品簡介

型號：Inducer-5560，本設備是利用超短脈沖激光實現碳化硅晶圓高質量，高效率的切割加工

詳細介紹

型號：Inducer-5560，本設備是利用超短脈沖激光實現碳化硅晶圓高質量，高效率的切割加工





◆ 切割速度快，切割效果好，良率高

◆ 提供整套的裂片&擴片設備，完整的解決方案

◆ 工藝成熟，可針對不同類型的碳化硅晶圓進行切割






◆ 加工對象：碳化硅晶圓

◆ 激光種類：紅外皮秒脈沖激光器

◆ 激光功率：≥4W

◆ 冷卻方式：風冷

◆ X軸：行程450mm，解析度0.1um

◆ Y軸：行程700mm，解析度0.1um

◆ Z軸：行程20mm， 解析度0.1um

◆ θ軸：行程120°，解析度0.001°

◆ 切割厚度：1mm

◆ 切割軸速度值：500mm/s

◆ 加工尺寸：6寸（可升級至8寸）





▌應用材料和領域：

應用于航天航空、電力電子等行業微波器件，功率器件的晶圓片的切割（以碳化硅材料為基板的晶圓）


▌加工效果示例圖：

  





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