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上海精切半導體設備有限公司
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2"，直流無刷，1.2kW，前置掛載，空氣軸承主軸（轉速60rpm），閉環轉臺
2"，直流無刷，1.2 kW，前置掛載，空氣軸承主軸（轉速60rpm），閉環轉臺。
經過優化，適用于200 mm x 200 mm較薄和小公差產品的多角度切割，如：
? 光電組件
? PCB BGA面板
? 高亮LED封裝
? 硅晶圓
? SAW過濾器
? 玻璃/硅傳感器
? 微機電系統（MEMS）
? PZT
系統規格:
工件尺寸：200 x 200mm
刀片尺寸： 2"-3"
主軸：空氣軸承，直流無刷，60 krpm/1.2 kW
大功率2.4kW主軸（可選件）
分度軸（y）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
控制：線性編碼器
分辨率： 0.2 µm
累積精度：1.5 µm
分度精度：1.0 µm
傳送軸（X）
氣動滑塊
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機
傳送速度：高達 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
分辨率：0.2 µm
精度: 2.0 µm
重復精度: 1.0 µm
行程: 50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸 (?)
驅動：閉環、直接驅動、直流無刷
精度: 4 arc-sec
重復精度: 4 arc-sec
行程：350度
視覺系統
數碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可選）連續數字變焦。
設施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源：260 L/min @ 5.5 bar
主軸冷卻水：1.1 L/min 廠務端用水
切割用水：3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量: 900 kg
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