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首昂光電(上海)有限公司
立式甩干機SA-SV4221、伺服電機驅動及主軸連接技術1.1離心旋轉沖洗甩干是設備的核心功能,旋轉電機就成為設備的核心部件之一
立式甩干機SA-SV422
1、伺服電機驅動及主軸連接技術
1.1離心旋轉沖洗甩干是設備的核心功能,旋轉電機就成為設備的核心部件之一。本機采用伺服電機驅動方式,實現無極調速加減速可調。
1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負載能力,間隙更小。軸端與轉盤間采用氣密封保護,隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。
2、工作腔
工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成,腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術,易擦洗不生銹。
3、旋轉載體及片架結構
3.1旋轉載體由不銹鋼轉盤和可方便更換的不銹鋼片架組成,如需更換片架,只需將片架卸下,即可更換為另一種片架。
3.2片架采用可反轉式結構,放置花籃時將花籃翻轉到一定角度可方便的將花籃放進片架內。
3.3該旋轉載體及片架結構不僅更換方便,而且結構簡潔,沖洗和甩干時,晶片及片盒不會留下死角。
4、層流風干法
晶片在旋轉過程中,產生同一方向的氣流,氣流由設備門蓋上方進入至上而下的氣流方向,經由排風排水管道出。排風口在上方,排水口在下方。 氣流經由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵,滿足顆粒度要求。
5、免沖水設計
設備無需增加額外沖水功能,避免二次污染,加快干燥工藝時間。
6、軸系動平衡及減震系統
硅片的生產中,降低生產過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用的現場動平衡儀,對設備的整個軸系進行動平衡。
7、系統控制技術
7.1控制系統采用可編程邏輯控制器,彩色液晶觸摸屏漢顯監控。可存儲多種用戶工藝菜單。同時具有密碼保護功能,用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進行編輯和修改,否則只能調用已經保存工藝菜單。另外,根據用戶的反饋,增加了管理員密碼功能,以加強對工藝菜單的保護。
7.2設備運行過程中的工藝時間、轉子速度、轉速和工作狀態以及故障信息等均在觸摸屏上顯示,使用戶對設備狀況做到一目了然。
立式甩干機SA-SV422 | ||
序號 | 項目 | 主要性能指標和參數 |
1、 | 電壓 | 220VAC |
2、 | 頻率 | 50Hz |
3、 | 功率 | 3.5KW |
4、 | 加工晶片規格 | 150MM及100MM |
5、 | 工作工位數 | 4個(2個6寸 2個4寸) |
6、 | 工作建議轉速 轉速 | 1400轉/分 1800轉/分 |
7、 | 排水口管徑 | 32mm(upvc) |
8、 | 排風口徑 | 110mm |
9、 | 主要功能 | 甩干、烘干 |
10、 | 外形尺寸 | 810*810*900mm具體尺寸以實物為準 |
立式甩干機SA-SV422
該系列臥式甩干機具有較高潔凈度的沖洗甩干功能,主要應用于太陽能電池片、半導體晶圓片、藍寶石片等材料的干燥工藝。
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