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首昂光電(上海)有限公司
產品介紹:1)控制系統由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護
產品介紹:
1)控制系統由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護。
2)傳片方式通過導軌絲桿傳動。
3)主軸使用伺服電機,RS485通訊精確控制轉速。
4)采用蠕動泵滴源,保證了定量滴乳膠源,可節省擴散源用量。
5)設置靈活,多功能。通過一鍵設置,可將自動涂源轉換為手動涂源。
7)熱板控溫方式為溫控表,自帶超溫保護系統,熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便晶圓烘烤。
轉速 5000RPM
轉速精準度 ≤1-4%RPM
涂源 滴膠手臂控制 步進馬達
滴膠頭位置精準 ≤0.2mm
該設備為全自動上下料涂源設備,主要應用于3-6寸晶圓涂源、烘干,采用標準片盒收放片,自動運行。該設備為雙軌道形式,上料、涂源、烘干、取料。
塑料機械網 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ?
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