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臥式甩干機SA-SV702-C

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所  在  地上海市

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更新時間：2024-10-25 23:29:11瀏覽次數：16次

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所在地區：上海上海市

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產品簡介

臥式甩干機SA-SV702-C為本公司針對（含）6"以下制程之需求，使用自制電機，參照美規設計之全新旋干機，采垂直式放置晶片，并可控制0.3微塵顆粒量20粒，其主要三大功能為清洗，高速脫水，低速烘干

詳細介紹

臥式甩干機SA-SV702-C

為本公司針對（含）6"以下制程之需求，使用自制電機，參照美規設計之全新旋干機，采垂直式放置晶片，并可控制0.3微塵顆粒量20粒，其主要三大功能為清洗，高速脫水，低速烘干。


1、設備用于6英寸硅片甩干工藝。

2、每批處理晶圓數量為50，25片/腔體。

3、甩干機為上下雙工藝腔體設計，腔室內采用不銹鋼。

4、轉子的動平衡為片盒中的硅片從0～25片。

5、轉速1800-2000轉/min。

6、顆粒度增加值<20 (0.3 um)  。


用于4寸～6寸晶片的清洗甩干，能根據客戶要求定制。

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