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上海柒孚機械設備有限公司
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用途: Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特點: IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能,適用于嚴苛制程。 它優良的性能源自于轉子排氣路徑和的轉子型線設計。 漢鐘型線設計,上海,中國臺灣,制造。 較之前的版本節能25%,配置有省電模式。 帶有加熱系統避免制程物沉積。 優化的尺寸,即插即用。
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