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iPH半導體嚴苛系列

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產品簡介

iPH半導體嚴苛系列

詳細介紹

產品型號及名稱
真空泵Vacuum pump
用途
 
Etch/Implant/HDP-CVD/SACVD/MOCVD/PECVD/LPCVD/ALD
 
特點
iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能，適用于嚴苛制程。
它優良的性能源自于最短的轉子排氣路勁和的轉子型線設計。
漢鐘型線設計，上海、中國臺灣制造；
較之前的版本節能25%，配置有省電模式；
帶有加熱系統避免制程物沉積；
優化的尺寸，即插即用。
 
技術指標

Product
Unit
iPH100
iPH200
iPH610
iPH1210
iPH1210H
iPH1220
iPH1820
Dry Pump
m3/h
120
200
120
120
120
200
200
Booster
m3/h
/
/
600
1200
1200
1200
1800
Max.Pumping Speed
m3/h
120
200
700
1100
1100
1250
1850
Ultimate Pressure
Torr
7.5×10-3
7.5×10-3
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
System Power at Ult.
kW
2.1
3.5
2.6
3.0
3.2
4.5
4.7
Inlet
ISO
63
63
100
100
100
100
160
Outlet
NW
40
40
40
40
40
40
40
Dimension(mm)
 L
830
830
830
830
830
830
830
W
400
400
400
400
400
400
400
H
526
526
780
780
780
780
830
Weight
Kg
280
300
450
455
460
470
530

關鍵詞：真空泵 PC
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