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蘇州博宏源機械制造有限公司
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一、產品用途、適用范圍及特點本機主要用于碳化硅、硅片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料的單面研磨，也可用于藍寶石片狀材料的單面研磨，以及用于其它硬脆材料平行平面的單面高精度、高效率研磨
一、產品用途、適用范圍及特點
本機主要用于碳化硅、硅片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料的單面研磨，也可用于藍寶石片狀材料的單面研磨，以及用于其它硬脆材料平行平面的單面高精度、高效率研磨。
該機采用觸摸界面及PLC控制。為用戶提供開放式的圖形操控界面，充分發揮機械硬件性能；該機主傳動具有傳動鏈短、穩定可靠等特點；四個上拋頭主動旋轉，壓力控制采用電氣比例閥強制冷卻，溫度控制精確。
二、設備傳動結構及布局
Ø 主軸系統位于設備的下方，由電機通過窄V帶拖動蝸輪蝸桿減速箱，減速箱與軸直連，保證了其運轉精度,下盤采用交叉磙子軸承定位支撐，運轉剛度和精度都得到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉接頭，用于拋盤內通冷卻水；
Ø 上拋光系統頭位于設備的上部，上拋光頭的升降及加壓由氣缸實現，上盤設有冷卻水通路用于上拋頭的冷卻，上拋頭的旋轉由減速電機通過齒輪直接驅動；
Ø 在下拋盤中間設有可升降的一個中間導輪裝置，在接液盆邊緣部位設有四個外導輪裝置，二者配合可實現工件盤的自動定位；
Ø 在設備的上部橫梁正面設有主操作面板，可進行參數設定，運行監控等功能，在橫梁的側面各有兩個小操縱板用于四個上拋頭的升降操作；
Ø 在設備后部箱體上裝有液路系統，設有上下盤冷卻水、拋光液、清洗水的通路；
Ø 在設備的前部箱體與橫梁兩側裝有前立柱，用于橫梁的輔助支撐，立柱高度方向可微調；
Ø 在箱體的右側設有兩個加油口，用于主軸兩組軸承的潤滑；
Ø 在橫梁上裝有紅外測溫裝置，用于拋盤盤面溫度的監測；
Ø 在下拋盤的外側設有可滑動的防護罩，可防止工作液的飛濺，減少有害氣體的溢出；
Ø 工作液采用鉆石液噴霧方式
Ø 具有車刀裝置，可對銅盤盤面進行面型修正及刻槽加工。
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