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中科艾爾（北京）科技有限公司


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DVH系列隔膜閥

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更新時間：2024-05-15 11:41:54瀏覽次數：81次

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產品簡介

工作壓力:真空至300psig｜ 材質:316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~70℃

詳細介紹

產品介紹 

 

DVH 系列隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工藝氣體要求。

 

主要部件材料

 

閥體                       316L /316L（VIM+VAR）
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊                   PCTFE 

閥體                      6063

 

工作條件

 

工作壓力                真空至 300psig
爆破壓力                3000psig
流量系數                0.5 
工作溫度                -10 ～ 70℃
內漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內表面粗糙度         Ra≤0.1μm

 

產品特點

 

適合超高純度氣體應用
手柄帶開關狀態指示窗口
手柄可旋轉角度為 180° ( 可選 90° )
手柄通過提拉后方可旋轉開啟，操作安全
每臺閥門進行單獨的氦質譜檢測
超長使用壽命（50 萬次實驗值）
可選配防誤操作 -LOTO

關鍵詞：隔膜閥 PC PCT
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