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深圳市韻騰激光科技有限公司
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產品名稱：全自動晶圓標刻設備應用領域：適用于各種材料晶圓、包括Si、Si+背膠、Si+玻璃加工優勢：可用于正面打標/背面打標，標記速度快，效率高，聚焦光斑小，能實現超精細標記，粉塵少，不用清洗，機器可適應6英寸，8英寸及12英寸晶圓標刻
產品名稱：全自動晶圓標刻設備
應用領域：適用于各種材料晶圓、包括Si、Si+背膠、Si+玻璃
加工優勢：
可用于正面打標/背面打標，標記速度快，效率高，聚焦光斑小，能實現超精細標記，粉塵少，不用清洗，機器可適應6英寸，8英寸及12英寸晶圓標刻。
| 技術參數 | |
| 激光器波長 | 532nm 355nm |
| 功率 | 5W 10W |
| 光束質量 | ＜1.3 |
| 激光安全等級 | Class IV |
| 掃描范圍 | 290*290mm |
| 標刻速度 | 500字符/s |
| 加工精度 | ±0.05mm |
| 平臺重復定位精度 | ±0.0025mm |
| 冷卻方式 | 水冷 |
| 環境溫度/濕度 | 20±2℃ / 30%-60% 無結露 |
| 整機耗電 | ＜4.5~6.0kw |
| 單機尺寸 | 1.8m*1.7m*1.9m |
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