產品
683B-23795 MKS排氣節流閥設計用于調節和控制工業過程中的排氣流量。它提供精確可靠的廢氣節流，實現高效的過程控制。
特征
特點和優點
?設計符合ODVA規范，確保無縫集成
?緊湊的壓力控制系統集成了節流閥組件內的控制、通信和閥門驅動電路
?兩個內置報警跳閘點承受狀態指示器提供硬線安全聯鎖-可編程用于壓力、位置，或設定點限制
?壓力控制（PID）和擋板位置控制的可配置操作模式
?數字數據傳輸提供了對系統噪音的靈活性
?智能屬性提供了對關鍵設置和運行時間參數的監測和控制
?的線性閥門傳輸特性提供了平滑的線性壓力控制
?有流行的ISO法蘭樣式可供選擇?密封尺寸最多可提供2“孔683B閥門解決方案ISCONTINUED
MKS 683型智能排氣節流閥專為需要簡單壓力控制系統的計算機集成應用而設計。683通過一個緊湊的“附加"電子模塊將所有控制、通信和驅動電路集成到MKS 253型節流閥總成上，從而無需安裝單獨的壓力控制電子模塊。第二代PID控制算法可以進行調整，以驅動系統快速設定點，并在無操作員參與的情況下確保可重復的工藝配方。回路調諧參數可調節，以適應系統參數的變化。
683型節流閥有兩種模式：擋板定位或壓力控制，其中任何一種都可以通過網絡通信接口由用戶激活。所有可調整的設置參數、運行時操作和診斷信息都可以通過網絡通信接口獲得。683型還包括可調節的軟啟動功能，用于改變設定值，以限度地減少湍流，從而減少室內的顆粒分布。兩個報警繼電器輸出可在規定的壓力、閥門位置或設定點偏差設置下調節跳閘。683型被設計為與MKS Digital Baratron®電容式壓力計兼容，以提供通過網絡進行閉環壓力控制所需的所有組件。或者，683型將接受來自傳統模擬Baratron電容式壓力計的0-10 VDC信號，用于閉環控制。這種下游壓力控制技術提供了寬的動態范圍，適用于所有類型的泵，提供快速響應，并能耐受大多數廢氣。
683B-23795 MKS排氣節流閥是一款高質量的閥門，旨在調節工業應用中的廢氣流量。它提供了對氣體流量的精確控制，從而在各種過程中實現性能和效率。該閥門的建造考慮到了耐用性和可靠性，即使在苛刻的環境中也能確保長期運行。其簡單的安裝和維護程序使其成為工業設置的方便選擇。
應用領域
683B-23795 MKS排氣節流閥可應用于半導體制造、真空系統、工業過程控制等領域。
