LST-121型固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測試儀是按照國家標準GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗方法》研制的多用途綜合測量裝置，它可以測試固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率，也可單獨作為超高電阻計或微弱電流表使用。

本測試儀特增設雙窗口同步顯示測試結果(電阻率或表面電阻)及測試條件(電壓或電流)功能

固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測試儀主要由主機、高壓測試臺等部分組成。主機主要由高壓電源、數控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅動及嵌入式單片機系統組成。高壓測試臺主要由標準環形三電極和連接線等組成！對于小面積高阻薄膜類樣品方阻測試可以選配LST-121-F02型方阻探頭。體積電阻率表面電阻測試儀

儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；可自動/手動轉換量程，測試結果由數字表頭直接顯示。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、測量簡便、讀數方便等特點。

本儀器適用于防靜電產品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計算機房防靜電活動地板等電阻值的檢驗以及絕緣材料和電子電器產品的絕緣電阻測量。微弱電流測量如光電效應和器件暗電流測量.

二、技術參數

1. 測量范圍、分辨率

測試電壓范圍UX: 0.1V ～500V.

電阻測試范圍RX: 1×102Ω ～5×1013Ω，分辨率1/2000,

電流測試范圍IX: 1.5× 10-3A ～ 10× 10-12A,分辨率1/2000。

體電阻率試范圍ρV: FV×102Ω-cm ～FV×1012Ω-cm，FV體電阻率修正系數1～99,默認標準三電極FV=23.76cm/h

表面電阻率測試范圍ρS: FS×103Ω/□～FS×1017Ω/□，FS表面電阻率修正系數1～99,默認標準三電極FS=34.55 lst-121 LST-121

2. 電阻量程劃分（電阻率要乘以相應修正系數1～99）、測試條件及誤差等級

序號	量程	有效測量范圍	測試電壓	測試電流	誤差
1	103Ω-cm/□	0.100～1.000	1.00V	1.000～0.100 mA	±5% FSB
2	103Ω-cm/□	01.00～10.00	10.0V	1.000～0.100 mA	±3% FSB
3	103Ω-cm/□	010.0～450.0	100V	1.000～0.100 mA
4	106Ω-cm/□	0.450～4.500	500V	1.000～0.100 mA
5	106Ω-cm/□	04.50～50.00	500V	100.0～010.0μA	±5% FSB
6	106Ω-cm/□	050.0～500.0	500V	10.00～1.00μA
7	109Ω-cm/□	0.500～5.000	500V	1.000～0.100μA
8	109Ω-cm/□	05.00～50.00	500V	100.0～010.0 nA	±8%FSB
9	109Ω-cm/□	050.0～500.0	500V	10.00～01.00 nA
10	1012Ω-cm/□	0.500～5.000	500V	1.000～0.100 nA
11	1012Ω-cm/□	05.00～50.00	500V	100.0～010.0 pA	±10%FSB
					±10%FSB

3. 可測半導體材料尺寸（以標準電極為）

直徑：測試臺直接測試方式寬(W)×長(L)≥90mm×90mm，或直徑 Φ≥90mm

厚度：測試臺直接測試方式厚度d≤2.5mm,

4. 電源：

功耗：主機< 15W

輸入: 220V±10% 50Hz

5. 本儀器工作條件為：

溫度： 0～35℃

相對濕度： ≤60%

工作室內應無強電磁場干擾，不與高頻設備共用電源。

6. 外形尺寸：

主機： 320mm（長）×320 mm（寬）×135mm（高）

高壓測試臺： Φ=100mm（底座直徑）×80 mm（高）

三、工作原理

1. 測試原理：體電阻率和表面電阻率測試原理簡介如下：

注：詳細原理請參照國家標準GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗方法》

[1]體電阻率表面電阻率測量基本原理圖：

如下圖1 固體絕緣材料電阻率測試原理圖

[2]體電阻率表面電阻率測量常用電極示意圖：

如下圖2 標準平板樣品測試電極原理圖

如下圖3 標準管狀樣品測試電極原理圖

[3]體電阻率表面電阻率測量計算公式：

[4]體電阻率表面電阻率測量重復性：

[5]體電阻率表面電阻率測量測試報告注意點：

[6]體電阻率表面電阻率測量快捷方式--標準測試電極時的修正系數：

當測試樣品形狀和測試電極形式確定時，則樣品體電阻率或表面電阻率與體電阻的換算系數就是常數。本儀器不但可以直接測試顯示測試電壓測試電流值，還可以設定相應換算系數值，就可以直接顯示樣品體電阻率或表面電阻率值。下是本機配備的測試三電極參數和測試樣品體電阻率或表面電阻率對應修正系數：

注：參照圖2，按以下修正系數，體電阻率最終單位為Ω·cm表面電阻率為Ω/□

表3.1 環形三電極修正系數

序號

樣片圖示

基本尺寸參數

樣品修正系數F

備注

標準

環形

三電

極

LST-121-F01

d1= 50.0mm

d2= 60.0mm

d3=80.0mm

d4=90.00

g= 5.0mm

a體電阻測量

F=1.00

b體電阻率測試：

FV=A/h=(23.76/h) cm

c表面電阻率測試：

FS=P/g=34.55

1:標準平板樣品

2:h 樣品厚度cm

（標準配置）

薄膜

方阻

環形

三電

極

LST-121-F02

d1=3.0mm

d2=7.0mm

d3=9.0mm

d4=忽略

g= 2.0mm

A薄膜方塊電阻率測試：

FS=P/g=7.85

（選配探頭）

測試高阻薄膜方塊電阻

2. 電氣原理

LST-121型超高阻微電流測試儀原理方框圖如圖3.3所示。

圖3.3 LST-121原理方框圖

四、結構特征

主機為儀器主要電氣部分所在，在其面板結構特征和標準三電極組成如圖4.1所示。

圖4.1 LST-121面板特征和標準三電極組成示意圖

主機后蓋板設有交流220V電源插座和保險絲座以及電源開關。

五、使用方法

ST2643型超高阻微電流測試儀能夠測量普通電阻器或絕緣材料的體電阻RX（修正系數1.000），絕緣材料體電阻率ρV、表面電阻率ρS（后二項需調整不同的修正系數），也可用作為微電流測試儀。

5.1 操作概述

(1) 測試準備（以體電阻率或表面電阻率測試為例）：

主機電源開關置于斷開位置，將電源插頭插入具有漏電保護斷路器的電源插座。打開主機電源，預熱半小時后，投入使用為宜！測試電極和測試樣品應在測試前應進行清潔處理。

如圖4-1，將測試臺的線纜插頭與主機的輸入插座連接起來，連接方式按照測試需要電阻率或方阻，參照原理章節3.1和圖1。將電極與樣品良好接觸，注意三電極中圓柱電極、環型電極和平板電極要同軸放置，樣品置于平板電極之上和圓柱電極、環型電極之下，平板電極的絕緣板朝下。

測試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對于測試結果大于高阻106的再選其它檔。如100V或更高電壓，主要原則就是測試電流要有3位到4位顯示值。

圖 5-1A 設定參數圖5-1B測試電流圖5-1C測試電壓

(2) 參數設定：

儀器開機默認狀態為“設定" 模式，參照圖5.1A LST-121面板示意圖，右窗口右側“設定"模式燈亮，通過鍵盤輸入需要的修正系數。系數有效范圍為00.01～99.99，,當前設定系數由右側窗口顯示。輸入完畢要按“確定"鍵保存。按鍵操作詳見下5.2節鍵盤輸入與窗口顯示規則說明，儀器默認修正系數（F=1.000）, 對于儀器所配電極，測試體電阻率或表面電阻率參照表3.1查取系數FV或FS,對于其他非標準電極，參照原理章節3.3計算FV或FS

(3)測量：

設定完畢，按“模式"鍵，切換儀器到“測量"模式（電流或電壓）。按“啟動"按鈕，啟動高壓并開始測試，窗口左側顯示體電阻率或表面電阻率（具體由設定系數意思確定），右側窗口顯示測試電流或測試電壓，如圖5-1B圖5-1C，由“模式"按鍵選擇，右側狀態指示燈指示。由數字顯示窗直接讀出測量結果。

！面板鍵盤詳細操作規則請見“鍵盤輸入與窗口顯示規則說明"。

（4）樣品的取出

首先按“停止"按鈕切斷高壓電源！再從儀器面板上UH和UL端拔掉高壓連接線，取出樣品！

5.2.鍵盤輸入與窗口顯示規則說明（請參見圖4.1 LST-121面板示意圖）

(1) 設定模式時鍵盤輸入與顯示規則