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北京玉研精密儀器有限公司
它是一種過濾器,將特定波長的EUV光(極紫外,極紫外)與可見光和不必要的EUV光分開。
由于它是一款自立式EUV濾光片,因此具有出色的透光率和平整度。 另外,還有一個帶有抗氧化膜的過濾器。 由于耐氧化性優異,因此與通常的過濾器相比,透過率的劣化小。
· 將高次諧波從基波中分離出來;
· 去除不需要的波長,如同步輻射,等離子體X射線等;
· 預防等離子體X射線中的碎片;
· 真空窗,差壓窗口
· 可以對應于每個極紫外線和軟X射線波長區域。
· 近波長13.5nm(Zr過濾器)
· 近波長29.6nm(鋁過濾器)
· 近波長61.5 nm(Sn濾光片)
· 它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成;
· 聚合物膜支撐過濾器;
· 網格支撐濾器;
· SiN膜支撐濾器;
聚合物膜支撐過濾器 網格支撐過濾器 膜支撐過濾器
各種材料透射率的計算值(膜厚度:100nm):
我們還設有層壓膜過濾器,硬X射線過濾器等產品。
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