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X射線/ EUV過濾器

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更新時間:2022-08-24 08:42:57瀏覽次數:174次

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所在地區:北京北京市

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產品簡介

它是一種過濾器,將特定波長的EUV光(極紫外,極紫外)與可見光和不必要的EUV光分開。

詳細介紹

EUV濾光片



由于它是一款自立式EUV濾光片,因此具有出色的透光率和平整度。 另外,還有一個帶有抗氧化膜的過濾器。 由于耐氧化性優異,因此與通常的過濾器相比,透過率的劣化小。

主要用途


· 將高次諧波從基波中分離出來;

· 去除不需要的波長,如同步輻射,等離子體X射線等;

· 預防等離子體X射線中的碎片;

· 真空窗,差壓窗口




對應波長區


· 可以對應于每個極紫外線和軟X射線波長區域。

· 近波長13.5nm(Zr過濾器)

· 近波長29.6nm(鋁過濾器)

· 近波長61.5 nm(Sn濾光片)



支撐薄膜

· 它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成;

· 聚合物膜支撐過濾器;

· 網格支撐濾器;

· SiN膜支撐濾器;

聚合物膜支撐過濾器 網格支撐過濾器 膜支撐過濾器




其他種類

各種材料透射率的計算值(膜厚度:100nm)



我們還設有層壓膜過濾器,硬X射線過濾器等產品。

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