上海京度電子科技有限公司
主營產品: 在線濃度儀 在線折光儀 在線酸濃分析儀 |
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更新時間:2020-10-16 08:09:06瀏覽次數:842
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電子級H2SO4又稱高ChunH2SO4、屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術發展過程中*的關鍵基礎化學試劑,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質顆粒、無機殘留物和碳沉積物。電子級H2SO4的純度和潔凈度對電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。
從純度上來講,電子級和分析純的化學品,相對于普通化學品,其純度都很高,雜質含量少,但是兩個屬于不同的標準體系,對雜質的關注點不一樣。 電子級是對用于電子元器件生產過程中使用的化學品的一種泛指,相對于一般工業,其純度要求更高,尤其是平板顯示行業或者半導體行業。其更每種化學品更中的有害雜質含量,金屬離子,固體顆粒等等。用于半導體工業的電子級化學品純度一般比分析純的化學試劑更高,可參考SEMI相關化學品的標準。對于芯片生產過程來說,一般情況下,純度會在99.999%數量級,12寸芯片生產可能會用到99.999999999%純度的化學品。 分析純是化學試劑的一個純度標準,這個系列里包括 優級純,分析純,化學純和實驗純。其中分析純干擾雜質很少,適用于工業分析及化學實驗,比如用于滴定之類的分析。
在復雜的芯片生產工藝中,H2SO4也是*的試劑。
硅圓片在加工過程中,常常會被不同的雜質所沾污,硅圓片上不溶性固體顆粒或金屬離子可能在微細電路之間導電,使之短路。鈉、鈣等堿金屬雜質也會融進氧化膜中,導致耐絕緣電壓下降。硼、磷、砷等雜質離子會影響擴散劑的擴散效果,塵埃顆粒會造成光刻缺陷,氧化層不平整,影響制版質量和等離子蝕刻工藝。
為了獲得高質量集成電路芯片,必須除去各種沾污物,這就需要使用非常純凈的化學試劑來清洗硅圓片。H2SO4和過氧化氫可以按比例組成有強氧化性的SPM清洗液,將有機物氧化成CO2和H2O。它還可用于光刻過程中的濕法蝕刻去膠,借助于化學反應從硅圓片的表面除去固體物質,導致固體表面全部或局部溶解。
H2SO4在此處的作用是消除晶圓上的各種雜質,那么其本身就肯定不能做為污染源再引入雜質,因此該工藝對于H2SO4本身純凈度的要求也相當高。1975年,美國的半導體設備與材料協會(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)首先為微電子工業配套的電子級化學品制定了統一標準(SEMI標準);1978年,德國的默克公司也制定了MOS標準。兩種標準對電子級化學品中金屬雜質和微粒(塵埃)的要求各有側重,分別適用于不同級別IC的制作要求。
E-Scan系列電子級H2SO4濃度分析儀采用臨界角檢測原理,檢測不受物料的顏色,渾濁度,氣泡,固體顆粒等雜質的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。采用優秀的分體式體式,全屏蔽抗干擾設計,光電信號直接轉換處理。摒棄一體式不耐振動和高溫的影響的缺點,保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內置光纖光路傳導系統,擁有優秀的抗震性能和高穩定性、內置溫度傳感器和干燥劑有效監測糖度儀的運行狀態。
E-Scan系列電子級H2SO4濃度在線分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上,進行濃度監測和控制,可以直接顯示質量*(Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位,現場顯示并可以模擬信號(RS232)遠傳至電腦進行即時數據存儲、打印、追溯等功能;通過4-20ma信號遠傳至plc/dcs /變頻器進行監控或控制。
E-Scan系列電子級H2SO4在線分析儀擁有以下特征:
●316ss材質的傳感器使其滿足化工、半導體行業的要求并且耐溫高達150℃;
●免維護、無耗材、無漂移、自診斷功能,智能報警信號輸出功能;
●防護等級:NEMA4X(IP67);
●自動溫度補償(軟件擁有豐富的產品線性數據庫和溫度補償數據庫);
●多組4-20maA模擬信號及數字信號輸出(隔離,非隔離可選);
●3648高分辨率的CCD;
●多種報警信息輸出顯示(高低/高高/低低/偏差);
●可循環的干燥劑,無耗材,免維護;
●光源為589nmled燈,壽命長達100000小時;
●安裝適配器標準:PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon;
●高精度,高品質“美國制造”