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F1815系列泰克斯壓力傳感器

描述：200kg量程壓式結構微型測力傳感器

特點/ Features

• 微型傳感器，外形小巧

• 不銹鋼材料

• 可定制， IP66

用途 / Applications

適用于各種小空間的測力，廣泛應用于工業、研發等領域的測量和控制

傳統的電阻應變式壓力傳感器的電阻敏感柵是刻錄在一層絕緣脂薄膜上，而薄膜又通過粘結劑粘合到彈性基片上，由于彈性元件與粘結劑及絕緣脂膜之間的彈性模量不同，彈性元件的應變不能直接傳遞給敏感柵，而是要通過粘結劑、絕緣脂膜才能到達敏感柵，從而產生較大的蠕變和滯后，影響傳感器的靈敏度、響應度、線性度等性能。另外，由于粘結劑不能在高溫條件下使用，這也使它的應用范圍受到限制。  為了消除絕緣薄膜層和粘結劑層對傳感器性能的影響，本文嘗試采用真空鍍膜方法及光刻技術，在彈性元件上直接刻錄敏感柵，彈性元件與敏感柵直接接觸，以克服常規工藝導致的滯后和蠕變大的缺陷。另外，如果彈性材料和結構選擇恰當，還可制成耐高溫、耐腐蝕的全隔膜式薄膜壓力傳感器。