熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的,該儀表采用恒溫差法對氣體進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便,測量準確等優點。
熱式氣體質量流量計傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成,儀表工作時,一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1;另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2,它用于感測流體流速,稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1,T2>T1,當有流體流過時,由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走,使T2的溫度下降,若要使ΔT保持不變,就要提高T2的供電電流,氣體流動速度熱快,帶走的熱量也就越多,氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系,這就是恒溫差原理。