SFT-110SFT-110X射線熒光鍍層厚測量儀
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110],使操作性進(jìn)一步提高。
對半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測量管理,可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年*推出非接觸、短時間內(nèi)可進(jìn)行高精度測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來,已經(jīng)累計銷售6000多臺,得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測量需求,精工開發(fā)了配備有自動定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺上,就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進(jìn)行自動對焦。由此,無需進(jìn)行以往的手動逐次對焦的操作,大大提高了樣品測量的操作性。
近年來,隨著檢測零件的微小化,對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且,配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測量,可對應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
型號:SFT-110
測量元素:原子序號22(Ti)~83(Bi)
X射線源:空冷式小型X射線管
檢測器:比例計數(shù)管
準(zhǔn)直器:○型: 0.1mmφ、0.2mmφ 2種
樣品觀察:CCD攝像頭(可進(jìn)行廣域觀察)
對焦:激光點(diǎn)(自動)
濾波器:一次濾波器: 自動切換
樣品臺(臺式尺寸): 500(W) x400(D) x 150(H)mm
(移動量):X:250mm, Y:200mm
操作部:電腦、19寸液晶
測量軟件:薄膜FP法 (zui多5層膜、10種元素)、標(biāo)準(zhǔn)曲線法
數(shù)據(jù)處理:配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
安全機(jī)構(gòu):樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能
日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110],使操作性進(jìn)一步提高。
對半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測量管理,可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年*推出非接觸、短時間內(nèi)可進(jìn)行高精度測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來,已經(jīng)累計銷售6000多臺,得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測量需求,精工開發(fā)了配備有自動定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺上,就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進(jìn)行自動對焦。由此,無需進(jìn)行以往的手動逐次對焦的操作,大大提高了樣品測量的操作性。
近年來,隨著檢測零件的微小化,對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且,配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測量,可對應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
特點(diǎn)
即放即測!
通過自動定位功能,放置樣品后僅需幾秒,便能自動對準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。
10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量!
以*的設(shè)計實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度。
無標(biāo)樣測量!
將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。
通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測量位置!
通過廣域觀察系統(tǒng),能夠從畫面上的樣品整體圖(zui大250×200mm)中方便地測量位置
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