產品功能

    對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波面度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100*100mm，更大尺寸可以定做；工作臺zui大承載重量40Kg。

產品廣泛應用于汽車工業、造紙工業、鋼鐵工業、薄膜加工、半導體加工、MEMS等行業。

應用范圍

* 機械密封的平面度和輪廓測量（包括圓柱套筒累零件，如軸、凸輪、缸套、閥門挺桿、曲軸、活塞桿等）；

* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；

* BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；

* 造紙行業的表面紋理分析；

* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；

* 化學蝕刻產品的蝕刻深度和面積測量；

* 壓花材料表面特征分析，如合成材料皮革表面形狀測量分析；

* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產品和生物科研等；

* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；

* 法醫學上三維表面測量分析；

* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；

* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；

* 醫學上如人造皮膚的輪廓分析；

* 溝槽深度和截面計算分析；

* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；

* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統接觸方式無法檢測的產品的表面形態測量和分析；

* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波面度和輪廓測量分析。

產品介紹

    英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產的Proscan 2000光學表面形貌特征測量分析儀，采用非接觸式傳感器掃描技術，用于對各種產品的和部件的表面形貌特征進行測量和分析，它比傳統的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。由于采用非接觸的測量方式，線性電機可以避免驅動裝置的噪聲和振動對測量結果的影響。

    Proscan 2000光學表面粗糙度輪廓儀zui大掃描速度可達到80mm/秒，每秒2000個數據點，每行可掃描20000個獨立的數據點，高度分辨率更可達到3nm，測量范圍是80μm-10mm。

    Proscan 2000以花崗巖為工作平臺，是快速、精準、非接觸式的三維表面形態測量儀器。廣泛應用各種表面輪廓和形貌特征進行精確測量的場合。高性能非接觸式光學傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），對被測件平面的掃描點數zui多可達八百萬個數據點。配套軟件可以對各種測量參數進行分析。

產品特點

* 花崗巖框架結構，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。

* 配套軟件可以以二維或三維的方式進行掃描結果顯示和形貌分析。

* 數據分析結果方便導出，導出方式可謂ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。

* 數據設定可選擇二維X-Y平面視圖，還可進行三點平面修正和自動水平功能。

評定參數

Am               輪廓算術平均值

Ra               粗糙度中心線平均值

Rz（DIN）        峰谷高低平均值

Rz（ISO）        十點高度

Rmax             峰谷高低zui大值

Rp               峰值高度平均值

Rq               粗糙度均值平均方根

Rpm              峰值高度zui大值

Rvm              谷值深度zui大值

R3z              第三峰谷高低平均值

Wt               波形深度總值

Pt               輪廓深度總值

Nr               峰值計數歸一

Tpa              材質率（宏）

D                峰值密度

S                峰值輪廓平均間距

Sm               峰值就地平均間距

Lm               采樣長度

共面性

Warpage濾波器，過濾表面粗糙度數據，而僅保留輪廓數據

Surface濾波器，過濾表面輪廓數據，而僅保留粗糙度數據

對單點進行編輯

在X和（或）Y軸上進行插值

半徑計算

體積計算

表面積計算

截面積計算

三維輪廓顯示

技術規范

傳感器選型方案

各種可選項

* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；

* 其他各種傳感器；

* 仿制材料，用于對不容易進入的區域和對表面測量有困難的場合；

* 比標準的X和Y行程范圍更大的測量平臺。

產品尺寸圖

應用舉例

一、電子元件的形貌檢查

電子元件的原貌

對單個BGA的掃描結果

    *檢測BGA（包括穴距）和倒裝芯片的包裝情況，自動分析共面性、球面高度、球的位置和包裝扭曲情況；分析絲焊高度和輪廓；亞微米級分辨率，三維圖形顯示平均、zui大和zui小深度。

二、部件表面粗糙度測量

被測部件原貌

掃描后的結果分析

    精確分析被測部件的表面紋理、波面度和形態特征，符合ISO和DIN的粗糙度參數分析標準，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可測量出平面度、表面積、體積、承載比和部件的精確尺寸。

三、紙張類表面的紋理分析

掃描前的產品原貌

掃描后的分析圖

    對板材類、紙張類產品的表面進行紋理和形貌特征分析，自動計算各種表面分析的參數，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，測量速度快，結果準確，操作簡單。

視頻資料

索取。

樣本下載

表面粗糙度輪廓儀2000.pdf

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