激光微調是利用數控激光切割機的激光器可聚焦成很小的光斑，能量集中，有選擇的氣化部分材料來制造微電子元件的一種方法。

用激光對電阻、電容進行精密微調，加工時對臨近的元件熱影響極小，不產生污染，易于計算機控制，具有速度快、效率高、可連續監控等優點，與常規微調方法相比，還具有精度高、再現性好和阻值不隨時間變化的特點。

激光微調廣泛用于厚、薄膜元件和電路的參數微調，包括電阻器、電容器、石英諧振腔、單片濾波器的參數調諧，混合集成電路放大器、分壓器、穩流器、數字模擬與模擬數字交換器、高頻振蕩器、運算放大器等以及石英壓電設備（包括振蕩器、濾波器）的功能調節，半導體集成電路的微調，消除了影響多種集成電路精度的種種限制。

由于激光光束能精確的定向、定位在小尺寸區域內，并以規定的形式結合小的熱作用區，可對薄膜元件進行精密單件微調，因加工中沒有中間（化學）過程并可在大氣中加工，所以可實時檢驗結果，并實現激光加工過程的自動化，具有精度高、工藝簡便和高效的特點。