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技術(shù)文章
國內(nèi)外切削刀具涂層技術(shù)發(fā)展綜述
點(diǎn)擊次數(shù)：1352 發(fā)布時(shí)間：2009-3-5
1．引言
切削刀具表面涂層技術(shù)是近幾十年應(yīng)市場需求發(fā)展起來的材料表面改性技術(shù)。采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能，從而大幅度提高機(jī)械加工效率。因此，涂層技術(shù)與材料、切削加工工藝一起并稱為切削刀具制造領(lǐng)域的三大關(guān)鍵技術(shù)。為滿足現(xiàn)代機(jī)械加工對率、高精度、高可靠性的要求，世界各國制造業(yè)對涂層技術(shù)的發(fā)展及其在刀具制造中的應(yīng)用日益重視。我國的刀具涂層技術(shù)經(jīng)過多年發(fā)展，目前正處于關(guān)鍵時(shí)期，即原有技術(shù)已不能滿足切削加工日益提高的要求，國內(nèi)各大工具廠的涂層設(shè)備也到了必須更新?lián)Q代的時(shí)期。因此，充分了解國內(nèi)外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，瞄準(zhǔn)涂層技術(shù)*水平，有計(jì)劃、按步驟地發(fā)展刀具涂層技術(shù)（尤其是PVD技術(shù)），對于提高我國切削刀具制造水平具有重要意義。
2．國外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
刀具涂層技術(shù)通常可分為化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)和物理氣相沉積（PVD）技術(shù)兩大類，分別評述如下。
2.1 國外CVD技術(shù)的發(fā)展
二十世紀(jì)六十年代以來，CVD技術(shù)被廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)位刀具的表面處理。由于CVD工藝氣相沉積所需金屬源的制備相對容易，可實(shí)現(xiàn)TiN、TiC、TiCN、TiBN、TiB2、Al2O3等單層及多元多層復(fù)合涂層的沉積，涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度較高，薄膜厚度可達(dá)7～9μm，因此到八十年代中后期，美國已有85%的硬質(zhì)合金工具采用了表面涂層處理，其中CVD涂層占到99%；到九十年代中期，CVD涂層硬質(zhì)合金刀片在涂層硬質(zhì)合金刀具中仍占80%以上。
盡管CVD涂層具有很好的耐磨性，但CVD工藝亦有其先天缺陷：一是工藝處理溫度高，易造成刀具材料抗彎強(qiáng)度下降；二是薄膜內(nèi)部呈拉應(yīng)力狀態(tài)，易導(dǎo)致刀具使用時(shí)產(chǎn)生微裂紋；三是CVD工藝排放的廢氣、廢液會(huì)造成較大環(huán)境污染，與目前大力提倡的綠色制造觀念相抵觸，因此自九十年代中期以來，高溫CVD技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用受到一定制約。
八十年代末，Krupp.Widia開發(fā)的低溫化學(xué)氣相沉積（PCVD）技術(shù)達(dá)到了實(shí)用水平，其工藝處理溫度已降至450～650℃，有效抑制了η相的產(chǎn)生，可用于螺紋刀具、銑刀、模具的TiN、TiCN、TiC等涂層，但迄今為止，PCVD工藝在刀具涂層領(lǐng)域的應(yīng)用并不廣泛。九十年代中期，中溫化學(xué)氣相沉積（MT-CVD）新技術(shù)的出現(xiàn)使CVD技術(shù)發(fā)生了革命性變革。MT-CVD技術(shù)是以含C/N的有機(jī)物乙腈（CH3CN）作為主要反應(yīng)氣體、與TiCL4、H2、N2在700～900℃下產(chǎn)生分解、化學(xué)反應(yīng)生成TiCN的新工藝。采用MT-CVD技術(shù)可獲得致密纖維狀結(jié)晶形態(tài)的涂層，涂層厚度可達(dá)8～10μm。這種涂層結(jié)構(gòu)具有*的耐磨性、抗熱震性及韌性，并可通過高溫化學(xué)氣相沉積（HT-CVD）工藝在刀片表面沉積Al2O3、TiN等抗高溫氧化性能好、與被加工材料親和力小、自潤滑性能好的材料。MT-CVD涂層刀片適于在高速、高溫、大負(fù)荷、干式切削條件下使用，其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。目前，CVD（包括MT-CVD）技術(shù)主要用于硬質(zhì)合金車削類刀具的表面涂層，涂層刀具適用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技術(shù)還可實(shí)現(xiàn)α-Al2O3涂層，這是PVD技術(shù)目前難以實(shí)現(xiàn)的，因此在干式切削加工中，CVD涂層技術(shù)仍占有極為重要的地位。
2.2 國外PVD技術(shù)的發(fā)展
PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀(jì)七十年代末，由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，因此可作為zui終處理工藝用于高速鋼類刀具的涂層。由于采用PVD工藝可大幅度提高高速鋼刀具的切削性能，所以該技術(shù)自八十年代以來得到了迅速推廣，至八十年代末，工業(yè)發(fā)達(dá)國家高速鋼復(fù)雜刀具的PVD涂層比例已超過60%。
PVD技術(shù)在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們在競相開發(fā)高性能、高可靠性涂層設(shè)備的同時(shí)，也對其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展尤其是在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中的應(yīng)用進(jìn)行了更加深入的研究。研究結(jié)果表明：與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時(shí)對刀具材料的抗彎強(qiáng)度無影響（試驗(yàn)結(jié)果見表1）；薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力，更適于對硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。隨著高速切削加工時(shí)代的到來，高速鋼刀具應(yīng)用比例逐漸下降、硬質(zhì)合金刀具和陶瓷刀具應(yīng)用比例上升已成必然趨勢，因此，工業(yè)發(fā)達(dá)國家自九十年代初就開始致力于硬質(zhì)合金刀具PVD涂層技術(shù)的研究，至九十年代中期取得了突破性進(jìn)展，PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
表1 不同溫度下PVD涂層對硬質(zhì)合金材料抗彎強(qiáng)度的影響
硬質(zhì)合號(hào)-平均抗彎強(qiáng)度（MPa）-未涂層-涂層（300℃）-涂層（600℃）-涂層（700℃）
M20－2109－2266－2129－2059
M30－2285－2469－2370－1894
目前PVD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強(qiáng)度，涂層成分也由*代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx等多元復(fù)合涂層。ZX涂層（即TiN-AlN 涂層）等納米級涂層的出現(xiàn)使PVD涂層刀具的性能有了新突破。這種新涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度高，涂層膜硬度接近CBN，抗氧化性能好，抗剝離性強(qiáng)，而且可顯著改善刀具表面粗糙度，有效控制精密刀具的刃口形狀及精度，其精密加工質(zhì)量與未涂層刀具相比毫不遜色。
經(jīng)過幾十年的研究和開發(fā)，各種刀具涂層工藝已廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金和高速鋼切削刀具。涂層工藝的主要發(fā)展階段及應(yīng)用領(lǐng)域見表2。
表2 主要涂層工藝發(fā)展時(shí)段及應(yīng)用領(lǐng)域
時(shí)間－涂層成分－涂層方法－主要應(yīng)用領(lǐng)域
1968年－TiC、TiN－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1973年－TiCN、TiC+Al2O3－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1979年－TiN－PVD－高速鋼刀具涂層
1981年－TiC+Al2O3+TiN、Al-O-N－CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1982年－TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1984年－TiCN－PVD－硬質(zhì)合金、高速鋼銑刀、鉆頭類刀具涂層
1986年－Diamond、CBN－CVD、PVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1989年－TiAlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀類涂層（用于鋼、鑄鐵加工）
1990年－TiN、TiCN、TiC－PCVD－模具、螺紋刀具、銑刀等
1991年－TiAlN+CrC－PVD－車、銑削鈦合金
1993年－TiN+TiCN（CVD）+TiN（PVD）－CVD+PVD－硬質(zhì)合金銑削類刀具
1993年－CrN－PVD－鈦合金、銅合金加工
1994年－MoS2－PVD－高速鋼復(fù)雜刀具涂層
1995年－TiN-AlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀片涂層
1996年－厚膜纖維狀TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金車削類刀具涂層（用于粗、半精加工）
1996年－CNx－CVD、PVD－高速鋼刀具涂層
2000年－TiAlCN－PVD－硬質(zhì)合金刀片涂層
當(dāng)前世界涂層技術(shù)的發(fā)展具有以下趨勢：由于單一涂層材料難以滿足提高刀具綜合機(jī)械性能的要求，因此涂層成分將趨于多元化、復(fù)合化；為滿足不同的切削加工要求，涂層成分將更為復(fù)雜、更具針對性；在復(fù)合涂層中，各單一成分涂層的厚度將越來越薄，并逐步趨于納米化；涂層工藝溫度將越來越低，刀具涂層工藝將向更合理的方向發(fā)展，預(yù)計(jì)PVD、MT-CVD工藝將成為主流技術(shù)。
3 我國刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
3.1 我國CVD技術(shù)的發(fā)展
我國從二十世紀(jì)七十年代初開始研究CVD涂層技術(shù)，由于該項(xiàng)技術(shù)性較強(qiáng)，國內(nèi)從事研究的單位并不多。八十年代中期，我國CVD刀具涂層技術(shù)的開發(fā)達(dá)到實(shí)用化水平，工藝技術(shù)水平與當(dāng)時(shí)的水平相當(dāng)，但在隨后的十多年里發(fā)展較為緩慢（與國外研究狀況類似）；九十年代末期，我國開始MT-CVD技術(shù)的研發(fā)工作，MT-CVD工藝及裝備的研究開發(fā)預(yù)計(jì)可在2001年內(nèi)基本完成，根據(jù)研究目標(biāo)，工藝技術(shù)及設(shè)備將達(dá)到當(dāng)前*水平；我國PCVD技術(shù)的研究始于九十年代初，PCVD工藝技術(shù)主要用于模具涂層，目前在切削刀具領(lǐng)域的應(yīng)用還十分有限。總體而言，國內(nèi)CVD 技術(shù)的總體發(fā)展水平與水平差距不大，待MT-CVD技術(shù)開發(fā)成功，我國在刀具CVD涂層領(lǐng)域的整體水平將可與*水平基本保持同步。
3.2 我國PVD技術(shù)的發(fā)展
我國PVD涂層技術(shù)的研發(fā)工作始于八十年代初期，至八十年代中期研制成功中小型空心陰極離子鍍膜機(jī)，并開發(fā)了高速鋼刀具TiN涂層工藝技術(shù)。在此期間，由于對切削刀具涂層市場前景看好，國內(nèi)共有七家大型工具廠從國外引進(jìn)了大型PVD涂層設(shè)備（均以高速鋼TiN涂層工藝為主）。技術(shù)及設(shè)備的引進(jìn)調(diào)動(dòng)了國內(nèi)PVD技術(shù)的開發(fā)熱潮，許多科研單位和各大真空設(shè)備廠紛紛展開了大型離子鍍膜機(jī)的研制工作，并于九十年代初開發(fā)出多種PVD涂層設(shè)備。但由于多數(shù)設(shè)備性能指標(biāo)不高，無法保證刀具涂層質(zhì)量，同時(shí)預(yù)期的市場效益未能實(shí)現(xiàn)，因此大多數(shù)企業(yè)未對PVD刀具涂層技術(shù)作進(jìn)一步深入研究，導(dǎo)致近十年國內(nèi)PVD刀具涂層技術(shù)的發(fā)展徘徊不前。盡管九十年代末國內(nèi)成功開發(fā)出硬質(zhì)合金TiN-TiCN-TiN多元復(fù)合涂層工藝技術(shù)并達(dá)到實(shí)用水平，CNx涂層技術(shù)的研發(fā)也有重大突破，但與發(fā)展水平相比，我國的刀具PVD涂層技術(shù)仍落后十年左右。目前國外刀具PVD涂層技術(shù)已發(fā)展到第四代，而國內(nèi)尚處于第二代水平，且仍以單層TiN涂層為主。
4 我國刀具PVD 涂層技術(shù)發(fā)展的問題與對策
4.1 問題分析
與國外相比，我國刀具PVD涂層技術(shù)的研究和開發(fā)起步并不太晚，而且在發(fā)展初期大量引進(jìn)了當(dāng)時(shí)上的各類涂層設(shè)備，八十年代后期國產(chǎn)涂層設(shè)備也得到了迅速發(fā)展，但該項(xiàng)技術(shù)真正廣泛應(yīng)用于高速鋼刀具卻是在九十年代中期。到目前為止，雖然國內(nèi)對硬質(zhì)合金刀具TiCN涂層的研究已取得突破，但國內(nèi)市場的涂層產(chǎn)品仍以TiN涂層為主。分析其原因，可歸納為以下幾點(diǎn)：
（1）前期集中引進(jìn)對國內(nèi)PVD技術(shù)后續(xù)發(fā)展的影響
八十年代中期國外PVD技術(shù)及裝備的集中引進(jìn)雖然使我國發(fā)展該項(xiàng)技術(shù)有了一個(gè)高起點(diǎn)，同時(shí)也解決了高速鋼刀具的涂層問題，但由于引進(jìn)設(shè)備的廠家都是國內(nèi)的刀具生產(chǎn)骨干企業(yè)（其刀具產(chǎn)品的國內(nèi)*很高），這些*涂層設(shè)備的引進(jìn)在相當(dāng)長一段時(shí)間內(nèi)已可滿足這些企業(yè)的生產(chǎn)要求，因此對國產(chǎn)PVD技術(shù)和設(shè)備的需求不太強(qiáng)烈，這在一定程度上影響了國產(chǎn)PVD設(shè)備在刀具制造領(lǐng)域的應(yīng)用與發(fā)展；另一方面，八十年代中期PVD技術(shù)還處于發(fā)展初期，隨著該項(xiàng)技術(shù)的不斷發(fā)展，進(jìn)入九十年代后新技術(shù)層出不窮，這些企業(yè)早期引進(jìn)的技術(shù)亟待更新，但昂貴的價(jià)格使企業(yè)很難再次引進(jìn)新技術(shù)和新設(shè)備，國內(nèi)也因此錯(cuò)失了發(fā)展提高PVD技術(shù)的*時(shí)期。
（2）對新工藝的研發(fā)重視不夠
盡管八十年代國內(nèi)引進(jìn)了當(dāng)時(shí)的PVD技術(shù)，但當(dāng)時(shí)PVD技術(shù)尚處于發(fā)展初期，國內(nèi)對其后續(xù)發(fā)展空間及發(fā)展速度無法充分估計(jì)；此外，物理涂層技術(shù)是集電子物理、材料、真空控制技術(shù)于一體的新型技術(shù)，在研究、生產(chǎn)、應(yīng)用等方面對人員配置有較高要求，而大部分引進(jìn)PVD技術(shù)的企業(yè)偏重生產(chǎn)，對開發(fā)人員及資金配置不足，難以推動(dòng)工藝技術(shù)的進(jìn)一步自主開發(fā)，新工藝、新技術(shù)仍需再引進(jìn)，而再引進(jìn)的費(fèi)用十分昂貴（如Balzers公司的設(shè)備從TiN涂層工藝升級為TiCN涂層工藝，僅硬件改造費(fèi)即需30萬美元），因此影響了國內(nèi)涂層技術(shù)新工藝和裝備的研發(fā)。
（3）國產(chǎn)設(shè)備開發(fā)缺乏統(tǒng)一性、合理性及協(xié)作性
八十年代后期，國內(nèi)一些真空設(shè)備制造廠及科研單位對PVD刀具涂層市場過于樂觀，紛紛加大各類PVD涂層設(shè)備的開發(fā)力度，但由于缺乏對切削工藝及刀具涂層工藝的深入了解，與工具廠合作不夠，因此開發(fā)的涂層設(shè)備大多無法滿足刀具涂層工藝的要求，尤其是精密高速鋼刀具涂層技術(shù)尚達(dá)不到批量生產(chǎn)水平。由于此類設(shè)備大多只能用于麻花鉆的涂層，而麻花鉆涂層費(fèi)用極低，相應(yīng)涂層設(shè)備的利潤也很低，因此到九十年代以后，大部分真空設(shè)備制造廠已把發(fā)展方向轉(zhuǎn)向其它行業(yè)（如裝飾涂層等）。
（4）售后服務(wù)欠缺制約了國產(chǎn)涂層設(shè)備的推廣應(yīng)用
迄今為止，國內(nèi)大部分涂層設(shè)備生產(chǎn)廠還不能提供完整的刀具涂層工藝技術(shù)（包括前處理工藝、涂層工藝、涂后處理工藝、檢測技術(shù)、涂層刀具應(yīng)用技術(shù)等），這種技術(shù)不完整性給用戶的生產(chǎn)帶來許多技術(shù)問題；此外，由于設(shè)備生產(chǎn)廠不能提供長期技術(shù)服務(wù)，導(dǎo)致國產(chǎn)涂層設(shè)備難以保證長時(shí)期穩(wěn)定、正常使用，從而極大限制了PVD涂層設(shè)備的推廣應(yīng)用
切削刀具表面涂層技術(shù)是近幾十年應(yīng)市場需求發(fā)展起來的材料表面改性技術(shù)。采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能，從而大幅度提高機(jī)械加工效率。因此，涂層技術(shù)與材料、切削加工工藝一起并稱為切削刀具制造領(lǐng)域的三大關(guān)鍵技術(shù)。為滿足現(xiàn)代機(jī)械加工對率、高精度、高可靠性的要求，世界各國制造業(yè)對涂層技術(shù)的發(fā)展及其在刀具制造中的應(yīng)用日益重視。我國的刀具涂層技術(shù)經(jīng)過多年發(fā)展，目前正處于關(guān)鍵時(shí)期，即原有技術(shù)已不能滿足切削加工日益提高的要求，國內(nèi)各大工具廠的涂層設(shè)備也到了必須更新?lián)Q代的時(shí)期。因此，充分了解國內(nèi)外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，瞄準(zhǔn)涂層技術(shù)*水平，有計(jì)劃、按步驟地發(fā)展刀具涂層技術(shù)（尤其是PVD技術(shù)），對于提高我國切削刀具制造水平具有重要意義。
2．國外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
刀具涂層技術(shù)通常可分為化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)和物理氣相沉積（PVD）技術(shù)兩大類，分別評述如下。
2.1 國外CVD技術(shù)的發(fā)展
二十世紀(jì)六十年代以來，CVD技術(shù)被廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)位刀具的表面處理。由于CVD工藝氣相沉積所需金屬源的制備相對容易，可實(shí)現(xiàn)TiN、TiC、TiCN、TiBN、TiB2、Al2O3等單層及多元多層復(fù)合涂層的沉積，涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度較高，薄膜厚度可達(dá)7～9μm，因此到八十年代中后期，美國已有85%的硬質(zhì)合金工具采用了表面涂層處理，其中CVD涂層占到99%；到九十年代中期，CVD涂層硬質(zhì)合金刀片在涂層硬質(zhì)合金刀具中仍占80%以上。
盡管CVD涂層具有很好的耐磨性，但CVD工藝亦有其先天缺陷：一是工藝處理溫度高，易造成刀具材料抗彎強(qiáng)度下降；二是薄膜內(nèi)部呈拉應(yīng)力狀態(tài)，易導(dǎo)致刀具使用時(shí)產(chǎn)生微裂紋；三是CVD工藝排放的廢氣、廢液會(huì)造成較大環(huán)境污染，與目前大力提倡的綠色制造觀念相抵觸，因此自九十年代中期以來，高溫CVD技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用受到一定制約。
八十年代末，Krupp.Widia開發(fā)的低溫化學(xué)氣相沉積（PCVD）技術(shù)達(dá)到了實(shí)用水平，其工藝處理溫度已降至450～650℃，有效抑制了η相的產(chǎn)生，可用于螺紋刀具、銑刀、模具的TiN、TiCN、TiC等涂層，但迄今為止，PCVD工藝在刀具涂層領(lǐng)域的應(yīng)用并不廣泛。九十年代中期，中溫化學(xué)氣相沉積（MT-CVD）新技術(shù)的出現(xiàn)使CVD技術(shù)發(fā)生了革命性變革。MT-CVD技術(shù)是以含C/N的有機(jī)物乙腈（CH3CN）作為主要反應(yīng)氣體、與TiCL4、H2、N2在700～900℃下產(chǎn)生分解、化學(xué)反應(yīng)生成TiCN的新工藝。采用MT-CVD技術(shù)可獲得致密纖維狀結(jié)晶形態(tài)的涂層，涂層厚度可達(dá)8～10μm。這種涂層結(jié)構(gòu)具有*的耐磨性、抗熱震性及韌性，并可通過高溫化學(xué)氣相沉積（HT-CVD）工藝在刀片表面沉積Al2O3、TiN等抗高溫氧化性能好、與被加工材料親和力小、自潤滑性能好的材料。MT-CVD涂層刀片適于在高速、高溫、大負(fù)荷、干式切削條件下使用，其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。目前，CVD（包括MT-CVD）技術(shù)主要用于硬質(zhì)合金車削類刀具的表面涂層，涂層刀具適用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技術(shù)還可實(shí)現(xiàn)α-Al2O3涂層，這是PVD技術(shù)目前難以實(shí)現(xiàn)的，因此在干式切削加工中，CVD涂層技術(shù)仍占有極為重要的地位。
2.2 國外PVD技術(shù)的發(fā)展
PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀(jì)七十年代末，由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，因此可作為zui終處理工藝用于高速鋼類刀具的涂層。由于采用PVD工藝可大幅度提高高速鋼刀具的切削性能，所以該技術(shù)自八十年代以來得到了迅速推廣，至八十年代末，工業(yè)發(fā)達(dá)國家高速鋼復(fù)雜刀具的PVD涂層比例已超過60%。
PVD技術(shù)在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們在競相開發(fā)高性能、高可靠性涂層設(shè)備的同時(shí)，也對其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展尤其是在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中的應(yīng)用進(jìn)行了更加深入的研究。研究結(jié)果表明：與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時(shí)對刀具材料的抗彎強(qiáng)度無影響（試驗(yàn)結(jié)果見表1）；薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力，更適于對硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。隨著高速切削加工時(shí)代的到來，高速鋼刀具應(yīng)用比例逐漸下降、硬質(zhì)合金刀具和陶瓷刀具應(yīng)用比例上升已成必然趨勢，因此，工業(yè)發(fā)達(dá)國家自九十年代初就開始致力于硬質(zhì)合金刀具PVD涂層技術(shù)的研究，至九十年代中期取得了突破性進(jìn)展，PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
表1 不同溫度下PVD涂層對硬質(zhì)合金材料抗彎強(qiáng)度的影響
硬質(zhì)合號(hào)-平均抗彎強(qiáng)度（MPa）-未涂層-涂層（300℃）-涂層（600℃）-涂層（700℃）
M20－2109－2266－2129－2059
M30－2285－2469－2370－1894
目前PVD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強(qiáng)度，涂層成分也由*代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx等多元復(fù)合涂層。ZX涂層（即TiN-AlN 涂層）等納米級涂層的出現(xiàn)使PVD涂層刀具的性能有了新突破。這種新涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度高，涂層膜硬度接近CBN，抗氧化性能好，抗剝離性強(qiáng)，而且可顯著改善刀具表面粗糙度，有效控制精密刀具的刃口形狀及精度，其精密加工質(zhì)量與未涂層刀具相比毫不遜色。
經(jīng)過幾十年的研究和開發(fā)，各種刀具涂層工藝已廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金和高速鋼切削刀具。涂層工藝的主要發(fā)展階段及應(yīng)用領(lǐng)域見表2。
表2 主要涂層工藝發(fā)展時(shí)段及應(yīng)用領(lǐng)域
時(shí)間－涂層成分－涂層方法－主要應(yīng)用領(lǐng)域
1968年－TiC、TiN－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1973年－TiCN、TiC+Al2O3－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1979年－TiN－PVD－高速鋼刀具涂層
1981年－TiC+Al2O3+TiN、Al-O-N－CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1982年－TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1984年－TiCN－PVD－硬質(zhì)合金、高速鋼銑刀、鉆頭類刀具涂層
1986年－Diamond、CBN－CVD、PVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1989年－TiAlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀類涂層（用于鋼、鑄鐵加工）
1990年－TiN、TiCN、TiC－PCVD－模具、螺紋刀具、銑刀等
1991年－TiAlN+CrC－PVD－車、銑削鈦合金
1993年－TiN+TiCN（CVD）+TiN（PVD）－CVD+PVD－硬質(zhì)合金銑削類刀具
1993年－CrN－PVD－鈦合金、銅合金加工
1994年－MoS2－PVD－高速鋼復(fù)雜刀具涂層
1995年－TiN-AlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀片涂層
1996年－厚膜纖維狀TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金車削類刀具涂層（用于粗、半精加工）
1996年－CNx－CVD、PVD－高速鋼刀具涂層
2000年－TiAlCN－PVD－硬質(zhì)合金刀片涂層
當(dāng)前世界涂層技術(shù)的發(fā)展具有以下趨勢：由于單一涂層材料難以滿足提高刀具綜合機(jī)械性能的要求，因此涂層成分將趨于多元化、復(fù)合化；為滿足不同的切削加工要求，涂層成分將更為復(fù)雜、更具針對性；在復(fù)合涂層中，各單一成分涂層的厚度將越來越薄，并逐步趨于納米化；涂層工藝溫度將越來越低，刀具涂層工藝將向更合理的方向發(fā)展，預(yù)計(jì)PVD、MT-CVD工藝將成為主流技術(shù)。
3 我國刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
3.1 我國CVD技術(shù)的發(fā)展
我國從二十世紀(jì)七十年代初開始研究CVD涂層技術(shù)，由于該項(xiàng)技術(shù)性較強(qiáng)，國內(nèi)從事研究的單位并不多。八十年代中期，我國CVD刀具涂層技術(shù)的開發(fā)達(dá)到實(shí)用化水平，工藝技術(shù)水平與當(dāng)時(shí)的水平相當(dāng)，但在隨后的十多年里發(fā)展較為緩慢（與國外研究狀況類似）；九十年代末期，我國開始MT-CVD技術(shù)的研發(fā)工作，MT-CVD工藝及裝備的研究開發(fā)預(yù)計(jì)可在2001年內(nèi)基本完成，根據(jù)研究目標(biāo)，工藝技術(shù)及設(shè)備將達(dá)到當(dāng)前*水平；我國PCVD技術(shù)的研究始于九十年代初，PCVD工藝技術(shù)主要用于模具涂層，目前在切削刀具領(lǐng)域的應(yīng)用還十分有限。總體而言，國內(nèi)CVD 技術(shù)的總體發(fā)展水平與水平差距不大，待MT-CVD技術(shù)開發(fā)成功，我國在刀具CVD涂層領(lǐng)域的整體水平將可與*水平基本保持同步。
3.2 我國PVD技術(shù)的發(fā)展
我國PVD涂層技術(shù)的研發(fā)工作始于八十年代初期，至八十年代中期研制成功中小型空心陰極離子鍍膜機(jī)，并開發(fā)了高速鋼刀具TiN涂層工藝技術(shù)。在此期間，由于對切削刀具涂層市場前景看好，國內(nèi)共有七家大型工具廠從國外引進(jìn)了大型PVD涂層設(shè)備（均以高速鋼TiN涂層工藝為主）。技術(shù)及設(shè)備的引進(jìn)調(diào)動(dòng)了國內(nèi)PVD技術(shù)的開發(fā)熱潮，許多科研單位和各大真空設(shè)備廠紛紛展開了大型離子鍍膜機(jī)的研制工作，并于九十年代初開發(fā)出多種PVD涂層設(shè)備。但由于多數(shù)設(shè)備性能指標(biāo)不高，無法保證刀具涂層質(zhì)量，同時(shí)預(yù)期的市場效益未能實(shí)現(xiàn)，因此大多數(shù)企業(yè)未對PVD刀具涂層技術(shù)作進(jìn)一步深入研究，導(dǎo)致近十年國內(nèi)PVD刀具涂層技術(shù)的發(fā)展徘徊不前。盡管九十年代末國內(nèi)成功開發(fā)出硬質(zhì)合金TiN-TiCN-TiN多元復(fù)合涂層工藝技術(shù)并達(dá)到實(shí)用水平，CNx涂層技術(shù)的研發(fā)也有重大突破，但與發(fā)展水平相比，我國的刀具PVD涂層技術(shù)仍落后十年左右。目前國外刀具PVD涂層技術(shù)已發(fā)展到第四代，而國內(nèi)尚處于第二代水平，且仍以單層TiN涂層為主。
4 我國刀具PVD 涂層技術(shù)發(fā)展的問題與對策
4.1 問題分析
與國外相比，我國刀具PVD涂層技術(shù)的研究和開發(fā)起步并不太晚，而且在發(fā)展初期大量引進(jìn)了當(dāng)時(shí)上的各類涂層設(shè)備，八十年代后期國產(chǎn)涂層設(shè)備也得到了迅速發(fā)展，但該項(xiàng)技術(shù)真正廣泛應(yīng)用于高速鋼刀具卻是在九十年代中期。到目前為止，雖然國內(nèi)對硬質(zhì)合金刀具TiCN涂層的研究已取得突破，但國內(nèi)市場的涂層產(chǎn)品仍以TiN涂層為主。分析其原因，可歸納為以下幾點(diǎn)：
（1）前期集中引進(jìn)對國內(nèi)PVD技術(shù)后續(xù)發(fā)展的影響
八十年代中期國外PVD技術(shù)及裝備的集中引進(jìn)雖然使我國發(fā)展該項(xiàng)技術(shù)有了一個(gè)高起點(diǎn)，同時(shí)也解決了高速鋼刀具的涂層問題，但由于引進(jìn)設(shè)備的廠家都是國內(nèi)的刀具生產(chǎn)骨干企業(yè)（其刀具產(chǎn)品的國內(nèi)*很高），這些*涂層設(shè)備的引進(jìn)在相當(dāng)長一段時(shí)間內(nèi)已可滿足這些企業(yè)的生產(chǎn)要求，因此對國產(chǎn)PVD技術(shù)和設(shè)備的需求不太強(qiáng)烈，這在一定程度上影響了國產(chǎn)PVD設(shè)備在刀具制造領(lǐng)域的應(yīng)用與發(fā)展；另一方面，八十年代中期PVD技術(shù)還處于發(fā)展初期，隨著該項(xiàng)技術(shù)的不斷發(fā)展，進(jìn)入九十年代后新技術(shù)層出不窮，這些企業(yè)早期引進(jìn)的技術(shù)亟待更新，但昂貴的價(jià)格使企業(yè)很難再次引進(jìn)新技術(shù)和新設(shè)備，國內(nèi)也因此錯(cuò)失了發(fā)展提高PVD技術(shù)的*時(shí)期。
（2）對新工藝的研發(fā)重視不夠
盡管八十年代國內(nèi)引進(jìn)了當(dāng)時(shí)的PVD技術(shù)，但當(dāng)時(shí)PVD技術(shù)尚處于發(fā)展初期，國內(nèi)對其后續(xù)發(fā)展空間及發(fā)展速度無法充分估計(jì)；此外，物理涂層技術(shù)是集電子物理、材料、真空控制技術(shù)于一體的新型技術(shù)，在研究、生產(chǎn)、應(yīng)用等方面對人員配置有較高要求，而大部分引進(jìn)PVD技術(shù)的企業(yè)偏重生產(chǎn)，對開發(fā)人員及資金配置不足，難以推動(dòng)工藝技術(shù)的進(jìn)一步自主開發(fā)，新工藝、新技術(shù)仍需再引進(jìn)，而再引進(jìn)的費(fèi)用十分昂貴（如Balzers公司的設(shè)備從TiN涂層工藝升級為TiCN涂層工藝，僅硬件改造費(fèi)即需30萬美元），因此影響了國內(nèi)涂層技術(shù)新工藝和裝備的研發(fā)。
（3）國產(chǎn)設(shè)備開發(fā)缺乏統(tǒng)一性、合理性及協(xié)作性
八十年代后期，國內(nèi)一些真空設(shè)備制造廠及科研單位對PVD刀具涂層市場過于樂觀，紛紛加大各類PVD涂層設(shè)備的開發(fā)力度，但由于缺乏對切削工藝及刀具涂層工藝的深入了解，與工具廠合作不夠，因此開發(fā)的涂層設(shè)備大多無法滿足刀具涂層工藝的要求，尤其是精密高速鋼刀具涂層技術(shù)尚達(dá)不到批量生產(chǎn)水平。由于此類設(shè)備大多只能用于麻花鉆的涂層，而麻花鉆涂層費(fèi)用極低，相應(yīng)涂層設(shè)備的利潤也很低，因此到九十年代以后，大部分真空設(shè)備制造廠已把發(fā)展方向轉(zhuǎn)向其它行業(yè)（如裝飾涂層等）。
（4）售后服務(wù)欠缺制約了國產(chǎn)涂層設(shè)備的推廣應(yīng)用
迄今為止，國內(nèi)大部分涂層設(shè)備生產(chǎn)廠還不能提供完整的刀具涂層工藝技術(shù)（包括前處理工藝、涂層工藝、涂后處理工藝、檢測技術(shù)、涂層刀具應(yīng)用技術(shù)等），這種技術(shù)不完整性給用戶的生產(chǎn)帶來許多技術(shù)問題；此外，由于設(shè)備生產(chǎn)廠不能提供長期技術(shù)服務(wù)，導(dǎo)致國產(chǎn)涂層設(shè)備難以保證長時(shí)期穩(wěn)定、正常使用，從而極大限制了PVD涂層設(shè)備的推廣應(yīng)用