川崎 NT620 工作范圍：1280mm

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更新時間：2024-12-19 20:17:28瀏覽次數：8次

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昆山獨角獸機器人有限公司

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產品簡介

川崎 NT620 工作范圍：1280mm

詳細介紹

NT系列機器人:

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

應用:

無塵室

無塵機器人外設:

抓手
校準器NS004

的伸展距離單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP多到五個。高吞吐量標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時（WPH）與不用校準器400WPH。可用選配的抓手，增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規NT型號可以瞬時響應電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復時自動恢復運行。SEMI S2合規NT型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。懸掛式安裝NT620型號具有吊裝規格設計，用于在化學液體環境中使用，同時滿足ISO1級的要求。

應用范例

NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個梭子或額外的機器人。

布局范例

一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。

NT系列機器人規格

型號		NT410	NT420	NT510	NT520	NT620
構造		水平多關節型
自由度		4 軸	5 軸	4 軸	5 軸	5 軸
運動范圍	θ1 軸 (旋轉JT2)	340°	340°	340°	340°	340°
	Z 軸 (上下JT3)	400 mm	400 mm	470 mm	470 mm	600 mm
	θ2 軸 (旋轉JT4)	340°	340°	340°	340°	340°
	H1 軸 (旋轉JT6)	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2
	H2 軸 (旋轉JT7)	-	340°	-	380°	380°
大伸展距離		1,230 mm	1,280 mm	1,230 mm	1,280 mm	1,250.7 mm
重復性		± 0.1 mm （晶圓中心）
*無塵度1**		ISO 1級
控制柜		D60/D61 (規格見無塵控制柜)