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昆山獨角獸機器人有限公司
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川崎 NT520 工作范圍：1280mm
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂
NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個梭子或額外的機器人。
一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。
| 型號 | NT410 | NT420 | NT510 | NT520 | NT620 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 構造 | 水平多關節型 | |||||
| 自由度 | 4 軸 | 5 軸 | 4 軸 | 5 軸 | 5 軸 | |
| 運動范圍 | θ1 軸 (旋轉JT2) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° |
| Z 軸 (上下JT3) | 400 mm | 400 mm | 470 mm | 470 mm | 600 mm | |
| θ2 軸 (旋轉JT4) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° | |
| H1 軸 (旋轉JT6) | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | |
| H2 軸 (旋轉JT7) | - | 340° | - | 380° | 380° | |
| 大伸展距離 | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,250.7 mm | |
| 重復性 | ± 0.1 mm （晶圓中心） | |||||
| 無塵度*1 | ISO 1級 | |||||
| 控制柜 | D60/D61 (規格見無塵控制柜) | |||||
*1: 于川崎的無塵間內測得
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