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行業(yè)產(chǎn)品

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北京銳潔機器人科技有限公司


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儲片盒內(nèi)晶圓的自動搬運系統(tǒng)

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SSY-10010

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-12-19 17:18:15瀏覽次數(shù)：51次

聯(lián)系我時，請告知來自 塑料機械網(wǎng)

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：25條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王先生

產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線

詳細(xì)介紹

特點

    可安全準(zhǔn)確的搬運儲片盒的的薄片。

  • 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
  • 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
  • 自動識別儲片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
  • 可自動識別儲片盒內(nèi)晶圓的當(dāng)前高度
  • 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
  • 搭載儲片盒自動開蓋機構(gòu)（已申請）
  • 可對應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲片盒
  • 配備2套高效過濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
  • 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)

應(yīng)用設(shè)備實例

半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線

規(guī)格
可對應(yīng)片盒的種類 200 mm 儲片盒, 200 mm 片盒
被搬運物 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲片盒內(nèi)墊片(片間墊片)
潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
外形尺寸 1100 (寬) x 980 (深) x 1805 (高)
廠務(wù) 電源：AC200V±10%  潔凈氣源：0.5 MPa 250 NL/min 以上
重量 600 kg

*我司可以針對客戶對晶圓尺寸，儲片盒數(shù)量，是否需要校準(zhǔn)器等不同需求提供定制設(shè)計。
  可對應(yīng)多家廠商規(guī)格的儲片盒。有關(guān)產(chǎn)品規(guī)格及產(chǎn)品相關(guān)詳細(xì)信息請咨詢我司銷售人員。

關(guān)鍵詞：PA 傳感器

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