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北京銳潔機器人科技有限公司
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利用伯努利原理能夠吸附減薄晶圓輕盈,小巧由于不屬于真空吸附,能夠降低晶圓破損的風險
廣受設備廠商好評的產品,可吸附厚度80微米的減薄晶圓
半導體后道工序生產工廠
被搬運物 | 2, 3寸, 100~150 mm 可為客戶定制適用于200 mm,300 mm晶圓的產品 | |
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材質 | 鋁合金(前端) | |
表面處理 | 旋風吸盤:黑色陽極氧化處理 前端其他部分:白色陽極氧化處理 | |
晶圓吸附方式 | 利用旋風吸盤提供吸力并利用氟橡膠材 質的墊片保持晶圓和吸盤之間的相對位置 | |
允許搬運重量 | 50 g以下 | |
使用氣體 | 潔凈空氣,N2 | |
供給壓力 | 0.3 MPa以下(吸筆本體的入口處) | |
氣體流量 | 15 L/min | |
質量 | 110 g |
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