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2,3寸100～150 mm對應(yīng)的吸筆

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產(chǎn)品型號(hào)伯努利吸筆

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

利用伯努利原理能夠吸附減薄晶圓輕盈，小巧由于不屬于真空吸附，能夠降低晶圓破損的風(fēng)險(xiǎn)

詳細(xì)介紹

廣受設(shè)備廠商好評的產(chǎn)品，可吸附厚度80微米的減薄晶圓

吸筆前端能夠自由活動(dòng)不但能夠應(yīng)對水平擺放的晶圓，還能夠從晶圓片盒，晶圓Cassette中取放晶圓片
同時(shí)還可以用于晶圓之外的各種物體的搬運(yùn)
利用旋風(fēng)效應(yīng)吸附晶圓,吸盤不需要和晶圓接觸
和被吸附物接觸的吸盤墊片（材質(zhì)：氟橡膠）能夠緩沖吸附過程中的沖擊力，并且不需要夾持被吸附物的邊緣
前端吸盤模塊和本體之間使用了可調(diào)節(jié)的軟管結(jié)構(gòu)，作業(yè)員能夠任意地調(diào)節(jié)吸盤和本體之間的相對角度

半導(dǎo)體后道工序生產(chǎn)工廠

被搬運(yùn)物	2, 3寸, 100～150 mm 可為客戶定制適用于200 mm，300 mm晶圓的產(chǎn)品
材質(zhì)	鋁合金（前端）
表面處理	旋風(fēng)吸盤：黑色陽極氧化處理前端其他部分：白色陽極氧化處理
晶圓吸附方式	利用旋風(fēng)吸盤提供吸力并利用氟橡膠材質(zhì)的墊片保持晶圓和吸盤之間的相對位置
允許搬運(yùn)重量	50 g以下
使用氣體	潔凈空氣，N2
供給壓力	0.3 MPa以下（吸筆本體的入口處）
氣體流量	15 L/min
質(zhì)量	110 g