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蘇州天弘激光股份有限公司
全自動紫外雙面開槽機
產品特點:
暫無
規格參數:
技術規格 | TH-8212 |
激光器 | 華日/SP紫外納秒15W |
加工速度 | 2000-3000mm/s |
運用領域 | 晶圓表面開槽光刻 |
上下料方式 | 全自動模組 |
劃片速度 | 2000-3000mm/s |
對位方式 | 輪廓定位/模板匹配 |
視覺處理 | 灰度匹配 |
X軸移動范圍 | 280mm |
Y軸移動范圍 | 180mm |
θ軸 | 360deg |
開槽深度 | ≤10um |
邊緣毛刺 | ≤5um |
平臺水平度 | 5-15um |
激光器 | 華日/SP紫外納秒15W |
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