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成都萊普科技股份有限公司
將臨時鍵合的晶圓片通過激光加熱方式,分離超薄晶圓與襯底片,以便襯底片的再次使用和超薄片的后續加工。
配套提供鍵合膠
光學系統匹配,大限度減小晶圓損傷
全程監控與自動補償,確保加工的穩定性
全自動上下料及襯底片的回收
CSP、超薄晶圓
項目 | LB30 |
晶圓尺寸 | 8inch、12inch |
激光功率 | 15/30W |
聚焦光斑尺寸 | 0.2~0.5*1~2mm |
激光功率密度 | 0.1-3J/cm2 |
典型激光掃描時間 | 50s@8 inch |
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