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江蘇京創先進電子科技有限公司
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適應范圍： 主要用于材料制備、太陽能電池片、分立器件等行業中12英寸及以下晶片或器件的切割后沖洗干燥工藝。 主要特征： ?工藝適應性強，可定制特殊工作臺面； ?動平衡精度高，可靠性強，確保設備運行穩定； ?多種清洗模式，可選配二流體清洗、氮氣清洗、超高壓清洗等多種模式； ?PLC全自動控制，觸控操作，參數及清洗模式智能化編輯，操作簡單方便。 ?多種清洗模式，可選配二流體清洗、氮氣清洗、超高壓清洗等多種模式； ?PLC全自動控制，觸控操作，參數及清洗模式智能化編輯，操作簡單方便。
技術指標：
| 工作物尺寸 | mm | ? 12"或300mm×300mm方形 | ||
| 工作轉速 | r/min | 100 - 2400 | ||
| 防夾手裝置 | - | 標配 | ||
| 其他 規格
| 電源 | V | 兩相AC220V ±10％ | |
| 耗電量 | 加工時 | kW | 1.2（參考值） | |
| 暖機時 | kW | 0.2（參考值） | ||
| 壓縮空氣供給壓力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | ||
| 壓縮空氣消耗量 | L/min（ANR） | 150 | ||
| DI水壓力 | Mpa | 0.25 - 0.4 | ||
| DI水消耗量 | L/min | 6.0 | ||
| N2壓力 | Mpa | 0.25 - 0.4 | ||
| N2消耗量 | L/min | 200（Max） | ||
| 排風量 | m3/min | 2 | ||
| 設備尺寸（W × D × H） | mm | 500 ×600 × 1,400 | ||
| 設備重量 | kg | 約100 | ||
使用條件：
1. 請將機器設在20~25℃的環境中（波動范圍控制在±1℃以內）；室內濕度＜80%，無凝結。
2. 請使用大氣壓露點在-15℃以下，殘余油份為0.1ppm，過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。
3. 請將切削水的水溫控制為室溫+2℃（波動范圍在±1℃以內），冷卻水的水溫控制為與室溫相同（波動范圍控制在±1℃以內）。
4. 請避免設備受到重力撞擊以及外界任何振動威脅。另外，請不要將設備裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置以及產生油污的裝置附近。
5. 請把本設備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場所。
6. 請嚴格按照本公司產品使用說明書進行操作。
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