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上海雙金電子科技有限公司
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Vision™是一種自動計量工具，配合X-Prep®精密開封機一起使用，可以測量硅和半透明基板。對于需yao均勻減薄到特定目標，且公差為+/- 3 µm或更高的應用場合來說是必要的。
X-Prep®Vision™是一種計量工具，可以測量硅和半透明基板。對于需yao均勻減薄到特定目標且公差為+/- 3 µm或更高的應用場合來說是必要的。
X-Prep®夾具適配器也固定在 X-Prep®Vision™的電動工作臺上 ，確保在系統之間傳輸時，測量/工具控制坐標保持對齊。
每個系統都包含具有130多種材料的庫（例如， GaAs，InGaAs，SiC，藍寶石/ Al 2 O 3，InP，SiGe，GaN，光刻膠）。
測量與觀察-工作原理
紅外光聚焦到樣品上，并基于材料的折射率創建信號。返回信號由軟件分析以產生厚度值。
厚度低于10 µm
對于需yao減薄至小于10 µm的應用，只有添加可見光光譜儀附件，才能進行精準測量。
特征
| 多點掃描或單點厚度測量 | 10微米至全厚度（1 mm）的測量范圍（使用＃15-51000光譜儀進行配置時，厚度為15 nm至1 mm） | |
| 電動自動X / Y / Z（自動對焦），采集時間不到1秒 | 自動邊緣和角落檢測可將測量網格與X-Prep®對齊-包括theta校正 | |
| X / Y輸入的邊緣排除 | 裝有X-Prep®夾具適配器的載物臺 | |
| “協調開車"軟件導航 | 查看2D繪圖/地圖或3D圖形 | |
| 隨附Allied專有的X-Correct™軟件 | 如果不購買可見光譜儀（＃15-51000），則必須單獨購買CCD相機（＃15-50020） | |
| 粗糙度-15微米拋光 | 100 mm x 100 mm工作臺行程 | |
| 可通過.NET擴展軟件自動化 | 使用標準Windows方法導出數據 | |
| 一（1）年保修 | 尺寸：14英寸（寬）x 17英寸（深）x 19英寸（高）（355 x 431 x 483毫米） |
產品型號
| 產品編號 | 規格描述 |
| 15-50100 | X-PREP®VISION™100基板測量儀器 100-240V AC 100 mm x 100 mm X / Y 位移臺 |
產品附件
| 產品編號 | 規格描述 |
| 15-51000 | 可見光譜儀和照相機 |
| 15-50020 | CCD相機 |
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