項目

參數(shù)

備注

流量范圍

標準四路

100SCCM  500SCCM  2SLM  5SLM

(其他量程可定制，至大量程不超過30SLM)

精度

±1%F.S.

其他精度可選

響應(yīng)時間

2秒

重復(fù)性

0.2%F.S.

單路重復(fù)精度0.2%F.S.

截止功能

≤0.6MPa

標配，位于總出氣口，常閉截止閥

整機尺寸

490mm×500mm×200mm

深×寬×高

供電電壓

220VAC

100W

單項功能

√

4路標配，位于混氣前，避免氣體返流

自動進氣

√

4路標配，按時間和流量自由編輯

10段數(shù)據(jù)點，3組數(shù)據(jù)切換，任意循環(huán)（定制）

可實現(xiàn)：濃度配氣，時間配氣，壓力配氣

自動報警

√

標配，自動報警，自動關(guān)斷，實時監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)

數(shù)據(jù)處理

√

標配，數(shù)據(jù)記錄保存，導出到U盤進行存儲

外接通訊

可選

MODBUS-RTU

漏率

＜1×108atm.cc

/sec He