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蘇州博宏源機械制造有限公司
一、主要用途 本機主要通用于硅片、光學玻璃、陶瓷片、石英晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光
一、主要用途
本機主要通用于硅片、光學玻璃、陶瓷片、石英晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光。
1、壓力精密控制:PLC+PT+精密減壓所實現壓力開環控制;
3、精密傳動系統:高精度小齒隙全齒輪傳動;
4、下盤支撐:高精度平面流體軸承支撐;
5、銷齒傳動內外齒采用銷齒傳動,延長載體使用壽命維護便捷;
6、傳動系統:三電機同步拖動,上盤、下盤和齒圈、太陽輪(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設足,縣有配方功能
二、技術參數
序號 | 項目 | 規格參數 | |
1 | 上下盤尺寸 | Φ640mm×Φ235mm×30mm(研磨) | |
Φ640mm×Φ235mm×30mm(拋光) | |||
2 | 游星輪 | 參數 | Z=114,DP12,α=20 |
數量 | 5個 | ||
3 | 驅動電機 | 4.0kW AC380V 50Hz 1460rpm(研磨) | |
5.5kW AC380V 50Hz 1460rpm(拋光) | |||
4 | 下盤轉速 | 0~60rpm | |
5 | 精度指標 | 上、下盤平面度 | ≤0.015mm |
下盤端跳 | ≤0.05mm | ||
6 | 加工范圍 | 加工尺寸 | Φ150mm |
最小加工厚度 | 0.15mm(≤2"片) | ||
整盤承載量 | 9×5=45片(2" 圓片) | ||
7 | 水源 | 純水或自來水 | |
8 | 電源 | 功率 | 5.0kW AC380V 50Hz (研磨) |
6.5kW AC380V 50Hz (拋光) | |||
線纜規格 | 三相五線刮.3×4mm2+2×2.5mm2 | ||
9 | 氣源 | 壓力 | 壓縮空氣源0.4-0.5Mpa |
接管口徑 | 接口Φ10mm(外徑) | ||
10 | 外形尺寸 | 寬×長×高:1040mm×1400mm×2360mm | |
11 | 重量 | 約2200Kg |
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