DF-350系列是一款數(shù)字質(zhì)量流量控制器，以DF-250系列50 SLM以下規(guī)格為基準，與DC24V電源兼容。
- 50SML以下的規(guī)格高速響應(yīng)（全范圍1秒內(nèi)）
- 10SCCM~50SLM序列
- 標準配備通訊功能（RS485）
- 支持RoHS.CE規(guī)格
- 可選擇有無顯示屏
- 可選輸入/輸出信號
DF-350C標準規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時關(guān)閉） | ||
| 目標氣體（* 1） | N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未記載的氣體換算成N2進行校正） | ||
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | 20~50SLM （CO2：20~30 SLM） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | ||
| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2％F.S.) | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. | ||
| 動作壓差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100~300 kPa） | 100~300 kPa（Ar，CO2：150~300 kPa） | |
| 入口壓力 | 500kPa(G) | ||
| 耐壓 | 980kPa(G) | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 | ||
| 溫度 | 使用溫度 | 5～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | ||
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316、SUS316L、磁性不銹鋼、Ni、PTFE、PCTFE、FKM | ||
| 電氣連接 | D-sub 15引腳 公頭 高密度型，HR-10A×2 | ||
| 流量設(shè)定信號 | 0~5 VDC（輸入電阻：約1MΩ）or4～20mA（輸入電阻:約250Ω） | ||
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻：10kΩ以上)or4～20mA（負載電阻:500Ω以下) | ||
| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設(shè)置地址：最多99臺（9600 bps） | ||
| 活動輸入 | 接點輸入×3個（非絕緣） | ||
| 活動輸出 | NPN開路集電極×3個（非絕緣，額定值35 V，50 mA） | ||
| 所需電源（DC） | + 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub） | ||
| 接頭（* 6） | 1 / 4F 900（標準），1/4 UJR，Rc1 / 4 | ||
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 重量（* 9） | 約950g | 約1100g | |
（* 1）應(yīng)為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量校準單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
（* 3）對于流量范圍（滿量程）的精度。
（* 4）操作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 5）不包括滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 6）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 7）不含接頭的重量。
尺寸圖
接線連接
