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廣州文明機電有限公司
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TFA 薄膜物性分析儀
物理特性薄膜表征系統，高度集成且易于使用的測量平臺。
薄膜的物理性質不同于大塊材料，因為由于尺寸較小和高縱橫比使寄生表面效應更強！
增強表面散射的影響（a）
附加邊界散射（b）
超薄層的量子約束（c）
LINSEIS薄膜物性分析儀是表征各種薄膜樣品優異測量工具。它是一種易于使用的獨立系統，使用正在申請的測量系統設計，可提供高質量的結果。
組件
基本設置包括一個可以輕松沉積樣品的測量芯片，以及提供所需環境條件的測量室。 根據應用，該設置可與鎖定放大器和/或強電磁鐵一起使用。 測量通常在UHV下進行，并且在測量期間使用LN2和強力加熱器將樣品溫度控制在-170°C和280°C之間。
預制測量芯片
該芯片將用于熱導率測量的3 ω技術與用于測量電阻率和霍爾系數的4點Van-der-Pauw技術相結合。 賽貝克系數可以使用位于Van-der-Pauw電極附近的附加電阻溫度計來測量。 為了便于樣品制備，可以使用剝離箔掩模或金屬陰影掩模。 該配置允許幾乎同時表征通過PVD（例如熱蒸發，濺射，MBE），CVD（例如ALD），旋涂，滴鑄或噴墨打印制備的樣品。
該系統的一大優點是在一次測量運行中同時確定各種物理特性。所有測量都采用相同（平面內）方向，并且具有很高的可比性。
基本測量單元 ：
測量室，真空泵，帶加熱器的支架，電子頰側裝置，集成鎖相放大器，3w方法分析軟件，計算機和應用軟件。可測以下物理參數：
? λ - 熱傳導系數 (穩態法/平面內方向)
? ρ - 電阻率
? σ - 電導率
? S - 賽貝克系數
? ε – 發射率
? Cp - 比熱容
磁測量單元
可根據需求選擇集成式電磁鐵，可測物理參數如下：
? AH - 霍爾常數
? μ –遷移率
? n -載流子濃度
薄膜材料性能有別于塊體材料之處
- 因小尺寸和高縱橫比所導致的表面效應如：邊界散射和量子限域效應
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