注塑機 擠出機 造粒機 吹膜機 吹塑機 吹瓶機 成型機 吸塑機 滾塑機 管材生產線 板材生產線 型材生產線 片材生產線 發泡設備 塑料壓延機
賽福儀器承德有限公司
賽福儀器承德有限公司
暫無信息 |
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，并可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
產品特點
v 雙等離子清洗源
v 一機多用
v 高效低損傷
技術參數
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調， |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
氣體控制 | 標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
塑料機械網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
