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賽福儀器承德有限公司
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CIF推出全新一代CPC-G系列小型等離子體清洗設備，傳統等離子體清洗設備設計理念，采用頂置真空倉，上開蓋下壓式鉸鏈開關方式，上置式360度自由取放樣品托盤設計，具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業實驗室使用。
產品特點：
PLC工控機控制整個清洗過程，全自動進行。
7寸彩色觸摸屏互動操作界面，實時工作參數狀態直觀顯示。
手動、自動兩種工作模式。
數字流量計控制，控制更準確。
符合人體功能學的60度傾角操作界面設計，操作方便，界面友好。
頂置真空倉，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式。
上置式360度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。
安全保護，倉門打開，自動關閉電源。
技術參數
型號 | CPC-G | CPC- G plus |
艙體尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm |
艙體容積 | 6.8L | 6.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-150W可調 |
氣體控制 | 質量流量計（MFC）（標配單路，可選雙路） | |
有效處理尺寸 | Φ270mm 圓盤 | |
產品尺寸 | L525xW425xH345mm | |
包裝尺寸 | L645xW540xH560mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
氣體穩定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內 | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
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