俄歇電子能譜儀（在線表面分析）

簡介：

microCMA是一種緊湊型（2.75“CF安裝）柱面鏡式俄歇（AES，俄歇電子能譜）分析儀。

microCMA是30年來投入市場的*創新性的俄歇分析儀。

優異性能：

2.75英寸法蘭安裝CMA，內置3kV同軸電子槍。這兩項功能的結合使microCMA在競爭中脫穎而出。

microCMA安裝在2.75英寸法蘭上，這意味著它可以添加到大多數腔室，而無需向腔室添加另一個端口（大多數腔室有額外的2.75英寸端口可用）。

小型化還意味著，只需一個T形管和一個小型離子泵，而不是傳統的大型腔室，就可以制造出一個完整的系統。

同軸電子槍使樣品（彈性峰）易于對準，也無需電子槍（電子源、電源和法蘭）。

技術參數：

緊湊型2.75“CF法蘭安裝

同軸3kV電子槍

CeBix燈絲（運行溫度低于Lab6）

USB控制

ASCII命令

經驗證的CMA設計

應用領域：

表面分析

螺旋鉆/AES

薄膜分析

冶金學

半導體

原位

分子束外延

超高真空