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ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了頤光科研團隊在橢偏技術多年的研發投入，其采用行業前沿的創新技術，包括消色差補償器、雙旋轉補償器同步控制...
Mapping系列光譜橢偏儀是全自動高精度Mapping繪制化測量光譜橢偏儀，配置全自動Mapping運動機構，通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量，快速實...
SR-Mapping反射膜厚儀是超快速薄膜表征儀器，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，從而測量薄膜的厚度及光學常數。
SR系列膜厚傳感器提供快速、穩定的膜厚在線量測解決方案。
半導體復雜膜層在線量測解決方案。
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