SHINKO神港精機SST200真空泵
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二,薄膜成型設備
1,多室型濺射成型設備。STM5412,STM5213,STM4415
2,負載鎖定型濺射成型設備。STL5321,STL5111,STL5311
3,批量型濺射成型設備。SRV4310,SRV6310,SRV7310
4,在線型濺射成型設備。
5,卷取式濺射成型設備。SDR系列
6,超高真空濺射設備設備。STM2323
7,研發用濺射成型設備。SRL3320,SDL4320,STL5520
8,標準氣相沉積設備。AMF-C850SPB,AMF-C1065SPB,AMF-C1275SPB,AMF-C2280SPB
9,氣相沉積設備。AAMF-C1065SBR,AAMF-C2265SBR
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