SHINKO神港精機SSX300真空泵
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二,薄膜成型設備
10,負載鎖定型氣相沉積設備。AAMF-C845SB-L,AAMF-C1065SB-L,AAMF-C1275SB-L,AAMF-C1260SB-M
11,臥式氣相沉積設備。AAMH-C1075SB,AAMH-C1080SB,AAMH-C20130SB
12,直列式氣相沉積設備。CE-C450B,CE-750B,CE-C1040B
13,研發用氣相沉積設備。EM-330S,EM-435S,AM-645SB,AMF-645SB
14,用于大尺寸樹脂基板的氣相沉積設備。
15,特殊規格氣相沉積設備。AMF-1675SB,AMF-1690SB,AMF-22100SB
16,等離子體CVD設備。
17,等離子聚合設備。
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