真空計SATOVAC佐藤DW-60
真空計SATOVAC佐藤DW-60
SATOVAC佐藤真空計
日本的真空度標準(1次標準)是設置在產業技術綜合研究所的光波干涉式標準氣壓計(大氣壓~102Pa,不確定度±0.7Pa),設置在該電子技術綜合研究所的標準麥克勞德真空計(1.3~1.3×10-2Pa,不確定度±2%為基準。標準麥克勞德真空計的校準是針對日本真空協會委托的副標準電離真空計用球VS-1實施的,該校準后的真空計為2次標準(使用壓力范圍2.7×10-1~1.3×被稱為10-4Pa,不確定度±3%,是可以使用也可靠的真空計。
通常將其作為標準使用,用于其他實用真空計的校準。關于校正法,在JISZ8750中進行了詳細說明,在10-2Pa~10-7Pa附近的用途中,制造商使用VS-1進行校正的B-A真空計在市面上銷售。如果用這樣的方法校正靈敏度的話,實際使用的各個真空計的靈敏度將達到國家一次標準。當這樣的體系建立時,它被評價為已經建立了可追溯性。
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