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全自動(dòng)晶圓劃片機(jī)皮秒激光

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韻騰激光可以提供免費(fèi)打樣服務(wù)。技術(shù)咨詢，工藝咨詢，產(chǎn)品咨詢，乘車咨詢，請(qǐng)直接來電！

歡迎實(shí)地參觀
韻騰激光的產(chǎn)品品質(zhì)行業(yè)，歡迎來公司實(shí)地參觀考察！多家企業(yè)激光品牌，多家企業(yè)共同見證。

行業(yè)應(yīng)用：

半導(dǎo)體集成電路，包括單雙臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片，單雙臺(tái)面可控硅晶圓切割劃片，砷化鎵，氮化鎵，IC晶圓切割劃片。

機(jī)器優(yōu)點(diǎn)：

1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭，聚焦光束直徑小到3μm，切割道僅需10μm，切縫窄，更多的芯片出片率，無熱效應(yīng)，對(duì)芯片電路無損傷。

2、劃片速度高達(dá)500mm/s, 對(duì)于厚度1mm內(nèi)樣品，激光劃線僅需一次即可折斷。

3、CCD視覺預(yù)掃描&自動(dòng)抓靶定位、加工范圍650mm×450mm、XY平臺(tái)拼接精度≤±3μm

4、無錐度切割、最小崩邊3μm, 邊緣光滑。

5、支持多種視覺定位特征，如十字、實(shí)心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點(diǎn)等。

6、6年激光微細(xì)加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計(jì)技術(shù)積淀、性能穩(wěn)定、3萬小時(shí)無耗材。

7、機(jī)械手全自動(dòng)上下料系統(tǒng)，節(jié)省人力成本。

皮秒激光劃片原理（透明材料內(nèi)聚焦爆裂切割）：

通過貝塞爾或DOE光學(xué)系統(tǒng)，把高斯激光光束壓縮到衍射極限，在100-200KHz高重復(fù)頻率、10ps極短脈寬的激光束作用下，聚焦光斑直徑小至3μm，具有非常高的峰值功率密度，其在透明材料內(nèi)部聚焦時(shí)，瞬間氣化該區(qū)域材料從而產(chǎn)生一個(gè)氣化帶，并向上下兩表面擴(kuò)散形成非線性裂紋，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍(lán)寶石和半導(dǎo)體硅片（紅外輻射是能夠透射半導(dǎo)體硅材料的）都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)

序號(hào)	項(xiàng)目	技術(shù)參數(shù)
光學(xué)單元
1	激光器類型	1064nm 10ps 200KHz
2	冷卻方式	恒溫水冷
3	激光功率	50W
4	光束質(zhì)量	M2<1.3
5	聚焦方式&加工頭數(shù)	單點(diǎn)聚焦鏡、單頭
6	最小聚焦光斑直徑	Ф3μm
激光加工性能
7	加工速度	100~1000mm/s可調(diào)
8	最小崩邊	3μm
9	加工材料厚度	1mm
10	加工尺寸&精度	12inches, ±5μm
機(jī)械單元
11	機(jī)床結(jié)構(gòu)	龍門式
12	機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸數(shù)&種類	最多8軸, X，Y, Z, &θ軸
13	平臺(tái)行程&速度	650mm×450mm
13	平臺(tái)行程&速度	1000mm/s
14	運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重復(fù)精度	≤±1μm
15	運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度	≤±3μm
軟件控制單元
16	激光加工&平臺(tái)控制	Strongsoft, Strongcut
17	加工文件導(dǎo)入格式	Dxf, Plt, DWG, Gebar
18	CCD視覺定位軟件	AISYS Vision
19	CCD視覺定位精度	≤±3μm
電器單元
20	PLC控制器	Panasonic
21	真空系統(tǒng)	真空泵
22	除塵&集塵系統(tǒng)	專業(yè)粉塵過濾集成凈化機(jī)
自動(dòng)化單元
23	自動(dòng)上下料系統(tǒng)	XZ軸+可移動(dòng)上下料平臺(tái)
安裝環(huán)境
24	整機(jī)供電&穩(wěn)壓器功率	220V380V,6KW
25	壓縮空氣壓強(qiáng)	≥0.6MPa
26	無塵室等級(jí)	10000
27	地面承重	2T/m2
27	地面承重	2T/m2
28	保護(hù)氮?dú)?/span>	高純氮

晶圓劃片效果圖：

半導(dǎo)體晶圓劃片樣品.png

為什么選擇韻騰激光：

的研發(fā)團(tuán)隊(duì)

85%的公司員工擁有大專及以上學(xué)歷，技術(shù)研發(fā)人員占總?cè)藬?shù)的一半以上，其中研發(fā)骨干人員代表著行業(yè)內(nèi)水平。

豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)

公司自2013年成立以來，風(fēng)雨兼程一路走來，憑借著的專業(yè)技術(shù)和強(qiáng)大的研發(fā)優(yōu)勢(shì)，成功的為近300家不同行業(yè)企業(yè)提供了激光設(shè)備及其應(yīng)用服務(wù)，積累了的豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。

一體化的解決方案

公司始終秉承以市場(chǎng)為導(dǎo)向，解決客戶實(shí)際需求為己任，多年來公司先后獨(dú)立開發(fā)完成觸摸屏行業(yè) TP銀漿線+ITO自動(dòng)定位蝕刻系統(tǒng)方案，F(xiàn)PC+PCB高精密自動(dòng)送料切割系統(tǒng)等項(xiàng)目，為未來的發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)！

專注專業(yè) 合作共贏是我們多年來前行的動(dòng)力！

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